中古 HITS HXATS-1000 #293670427 を販売中

HITS HXATS-1000 Mask&Wafer Inspection Equipmentは、半導体マスクおよびウェーハの性能を迅速に測定および報告するために設計された最先端の自動光検査システムです。高解像度イメージング、高度なソフトウェア、および高度なビジョンユニットを使用して、ウェーハ/マスク基板特性の包括的な検査および分析を提供することができます。検査ツールの主な構成要素は、ウェーハとマスク基板の画像をキャプチャする画像取得モジュール（IMM）、画像データを分析できるプロセッサユニット（PU）、最終的なレポートと結果を生成するためのデータ分析プログラム（DA）です。IMMは、ウエハまたはマスク基板の画像を焦点と高解像度でキャプチャし、正確な検査結果を保証します。プロセッサユニット（PU）は、データ分析を行い、曲率、角度測定、フィーチャーなどの基板の詳細な分析を提供します。データ分析プログラム（DA）は、プロセッサユニットからのデータを解釈し、最終結果とレポートを生成します。HXATS-1000は高精度で再現性があり、再現性エラーは+/-2 µmです。精度を確保するために、アセットは、正確で再現性の高い測定を可能にする自動キャリブレーション機能など、いくつかのフェイルセーフなメカニズムで設計されています。さらに、ウエハー/マスク基板のより詳細な解析を可能にする機能を内蔵しています。HITS HXATS-1000は、1µmの解像度と0.25µm2の欠陥検出しきい値を備えた印象的な検出機能を提供します。装置はまた容易なセットアップおよび操作のためのユーザーフレンドリーなインターフェイスと設計されています。さらに、このシステムには包括的な統計解析機能が搭載されており、テストのどの段階でも統計レポートを自動生成し、さらなる分析を行うことができます。全体として、HXATS-1000マスク&ウェーハ検査ユニットは、半導体マスクおよびウェーハの検査に最適な最新かつ信頼性の高い自動光学検査機です。HITS HXATS-1000は、高度なビジョンツール、包括的な分析機能、迅速な結果により、高性能、高品質、高収量の結果を得るための効率的な生産作業とプロセスに不可欠です。