中古 HITS AVI_WB3000 #9282490 を販売中

HITS AVI_WB3000
ID: 9282490
Inspection system.
HITS AVI_WB3000は、ウェーハ露出最適化の精度を高めるために設計された高効率マスクおよびウェーハ検査装置です。AVI_WB3000により、ユーザーは、残りのウェーハ表面とのマスクの重要な配置に関連する問題を迅速に検出し、評価することができます。このAVI_WB3000は、パターニング、ギャップ解析、オフセット検出、臨界線幅変動、膜厚測定など、幅広い検査タスクを実行できます。CCDベースの色収差の低減技術や画像処理ソフトウェアなどの高度な画像キャプチャ機能を搭載し、問題の検出における最大限の精度と効率を確保しています。このシステムは、最大12インチのサイズの大面積ウェーハを検査することができます。これには、ユーザーが自動的に検査する領域を指定できる高度なソフトウェアと、検査のための特定の機能と欠陥をターゲットにするための「検索」ボタンが含まれています。AVI_WB3000はまた、検査設定を保存するためのパーソナルデータベースをユーザーに提供し、将来の検査のための過去の検査とパラメータに簡単にアクセスできます。最新バージョンのAVI_WB3000には、画像取得の高速化、重要パラメータの精度の向上、膜厚測定の自動計算のための高度なアルゴリズムと最上位カメラが組み込まれています。このAVI_WB3000は、ウェーハパターンを2.5µm線幅まで検査することができ、0.1µmのウェーハ浸透を検出することができます。AVI_WB3000's高度な画像処理および高度な解析ソフトウェアは、さまざまな重要な欠陥検出を提供し、ウェーハ形状、アライメント、露光時間の最適化を簡単に比較および評価するためのオンボードの統計レポートとパス/フェイルレポートを提供します。さらに、このユニットは高速スキャン時間と優れた画質でスループットを最大化します。全体として、HITS AVI_WB3000は、ウェーハ露出最適化の精度を高める、高効率で信頼性の高い、コスト効率の高いマスクおよびウェーハ検査機です。幅広い検査タスク、高度な画像キャプチャおよび画像処理機能、および膜厚測定の自動計算により、AVI_WB3000は検査要件の最も困難なものでも確実に満たします。
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