中古 HITACHI PSD10-2U #9167732 を販売中

HITACHI PSD10-2U
ID: 9167732
Reticle inspection system.
HITACHI PSD10-2Uは、高性能マスク・ウエハ検査システムで、精度の高いスキャン・検査結果を提供します。特に、誘電体、光学、電気検査の厳しい要件を満たすように設計されており、生産ダウンタイムを最小限に抑えた超微細な機能を備えています。PSD10-2Uは、高精細カメラと高度な画像処理ツールを搭載しており、極めて精度の高い微妙な欠陥を検出することができます。ウェーハ全体の検査に要する時間を短縮できる高速検査を提供します。また、独自のオートフォーカスメカニズムによりダイナミックなフォーカスが可能であり、マスクやウェーハ表面全体の完全なカバレッジを確保できるため、欠陥検出が向上します。このシステムには、最大1200mm/sの速度で画像を配信できる強力なスキャンエンジンが装備されており、わずか数秒で迅速かつ効率的な欠陥検出が可能です。これは、欠陥の迅速な特定が重要な大量生産に特に役立ちます。また、HITACHI PSD10-2Uは信頼性の高い基板から基板までの検査が可能なため、同じサブミクロンのディテールを様々な基板で素早く簡単に比較することができます。PSD10-2Uのスキャン領域はアプリケーションによって異なります。最大16インチのウェーハに対応可能で、解像度は最大10ミクロンです。また、アモルファスシリコン、IC、 MEMS、光学ディスクなど、さまざまな基板材料を検査するためのさまざまなイメージング技術も提供しています。HITACHI PSD10-2Uは、検査機能に加えて、総合的な定量分析とパターン認識機能も提供しています。誘電体の欠陥識別、ダークラインおよび明るいライン分析、およびオンダイの漏出欠陥検出のような洗練された信号処理アルゴリズムが装備されています。これにより、微妙な欠陥パターンを検出し、根本的な原因を特定する際の正確さを特定し、同時に詳細な定性的および定量的測定データを提供します。全体として、PSD10-2Uは最先端のマスクとウェーハ検査を提供し、製造メーカーはあらゆる欠陥を迅速かつ正確に特定して対処することができます。スピーディなスキャン、包括的な分析、堅牢な欠陥検出機能を兼ね備えているため、信頼性の高い高性能マスクおよびウェーハ検査をお求めのお客様に最適です。
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