中古 HITACHI LS 6500 #293643631 を販売中

HITACHI LS 6500は、複数基板の製品欠陥を迅速かつ正確に検出できる、大規模な自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高度なアルゴリズムを活用して欠陥を検出して分類するとともに、スキャンプランをカスタマイズして特定の検査領域をよりよく分析することができます。このユニットは、高い検査精度と検出率を提供するように設計されており、ユーザーのニーズに合わせて非常に柔軟でカスタマイズ可能です。この機械は、光学センシングツール、活性基板メカニズム、さまざまなウェーハおよびマスク検査ステージで構成されています。光学センシングアセットは、基板全体でさまざまな欠陥タイプを検出することができ、精度と速度を向上させるための高度なイメージング技術を備えています。活性基板メカニズムは、カセットからカセットに基板を運び、ウェーハとマスクの検査段階の間でそれらを転送する責任があります。ウェハ検査ステージには、2つの異なるブロードバンド光学システムがあります。最初のモデルは、全体的な地形と表面の質感を検査する責任があります。第二の装置は、ダイレベル解析に使用され、高度な欠陥信号の識別と分析が含まれています。最後に、マスク検査ステージは、部分的に塗りつぶされたパターンの特徴、欠落した特徴、ボイド、不一致、デバイスレベルの欠陥のある領域など、さまざまな形態のマスク欠陥を検出することができます。HITACHI LS-6500のユーザーインターフェースには、幅広いオプションがあり、お客様のニーズに合わせて様々な機能をカスタマイズすることができます。これは、ユーザーがスキャンプランを設計し、新興の欠陥を迅速に検出するのに役立ちます。また、スキャンプランを迅速に設定し、お客様の仕様に応じて機器設定を調整できるため、高度な自動化を実現しています。結論として、LS 6500は高度に自動化されたマスクおよびウェーハ検査ユニットであり、ウェーハおよびマスクを検査する信頼性の高い高精度な方法をユーザーに提供します。このマシンは、ユーザーが特定のニーズに合わせてツールをカスタマイズできるようにしながら、高速で正確な検出速度を提供するように設計されています。このアセットは使いやすく、プロセスの一部を自動化してユーザーの時間を節約し、精度を向上させるのに役立ちます。