中古 HITACHI LS 6000 #9026253 を販売中

HITACHI LS 6000
ID: 9026253
Particle inspection system, 8".
HITACHI LS 6000は、マスク・ウエハ検査装置です。マスクとウェーハの両方を正確で強力かつ費用対効果の高い検査を提供するように設計されています。これは、小さな欠陥の特定と検出を支援し、それらを正確に測定して定量化する専門技術のスイートを提供しています。LS 6000は、欠陥を迅速かつ簡単に検出および分離することを保証します。このシステムには、白色光スキャン技術を使用して欠陥を正確に検出する250X光学システムが装備されています。照光イメージングユニットは、光学系とソフトウェアを組み合わせ、0。5ミクロン(µm)の欠陥を検出します。また、明るいフィールドと暗いフィールド検査を使用して、異なる不透明特性の欠陥を迅速に検出します。内蔵のモーションおよび画像処理機能は、自動化され、ソフトウェア駆動で、自動化されたワークフローを可能にします。また、HITACHI LS 6000は、高速かつ精密なサンプルローダーを備えており、最大で1時間あたり60個の積載速度で最大400個のウェーハまたはマスクを積載することができます。この機械の自動焦点認識技術により、迅速かつ正確な焦点検査が保証され、露光端子が内蔵されているため、照明条件が自動補正され、一貫した結果が得られます。LS 6000の他の機能には、検査および分類ソフトウェアの内蔵、0。5 µmまでの精密な解像度、カスタマイズ可能な欠陥スレッショルド、さまざまな画像処理機能、およびユーザーフレンドリーなインターフェイスがあります。このツールはまた、包括的な欠陥レビュー、欠陥解析、および製品設計フィードバックのためのプログラミングおよびレポートツールの完全なスイートを提供します。HITACHI LS 6000マスクおよびウェハ検査資産は、半導体製造、フラットパネルディスプレイ製造、集積回路設計など、幅広い用途に最適です。非常に小さな欠陥を含む幅広い欠陥を検出することができます。自動化されたプラットフォームは、迅速な欠陥検出、ユーザーフレンドリーな操作、信頼性の高いパフォーマンスを提供します。内蔵のプログラミングおよびレポートツールは、包括的な欠陥レビューと製品フィードバックを提供します。したがって、LS 6000は強力で費用対効果の高いマスクおよびウェーハ検査モデルです。
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