中古 HITACHI LS 6000 #293820659 を販売中

HITACHI LS 6000は、ハイエンド半導体製造プロセスをサポートするマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは堅牢で信頼性が高く、幅広い用途に適しています。高度な検出アルゴリズムにより、LS 6000はマスクやウェーハの微細な欠陥をすばやく検出できます。HITACHI LS 6000は、リアルタイムにデータを処理できるデジタル信号プロセッサを搭載しています。これにより、欠陥検出限界が非常に低い高速ウェーハおよびマスク検査が可能になります。検査エリアの画像を生成するために、複数のインタラクティブカメラを装備することができます。また、迅速な分析のために大量のデータを格納することができます。機械は異なった点検機能を収容するために複数のモードで形成することができます。例えば、マスク検査モードでは、フォトマスクのパターンを素早く検査したり、開いた状態やショーツをチェックしたりすることができます。ウェーハ検査モードでは、オープンやショートなどの集積回路の欠陥を解析することができます。マスク/ウェーハモードを組み合わせることで、マスクとウェーハの両方の欠陥を自動的に評価することができます。このツールには、自動焦点参照、エッジ検出、およびパターンデータの正確な検査を可能にする自動整列などのいくつかの自動機能も含まれています。さらに、このアセットには、バーコードやその他のテキストデータを読み取ることができる光学文字リーダー（OCR）が装備されています。この機能により、マスクやウェーハの自動識別、並べ替え、取り扱いが可能になります。LS 6000は、ハイエンドで複雑な半導体製造環境の要求に応えるように設計されています。このモデルは、マスクやウェーハの検査において、高品質な結果を提供することができます。さらに、長期的な運用を低コストで提供するように設計されています。汎用性が高く、使いやすく、安全で、半導体業界に理想的なソリューションを提供します。