中古 HITACHI LS 6000 #293761998 を販売中

HITACHI LS 6000
ID: 293761998
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Particle inspection system, 8" 2001 vintage.
HITACHI LS 6000は、汎用性の高いハイエンドマスクおよびウェーハ検査装置です。マスク、ウェーハ、レチクルなど、さまざまな半導体材料を正確かつ効率的に試験するために設計されています。このシステムには、オントロジーベースの検査ユニットと、高度な光学および電気技術を採用したエキゾチックな機械という2つの主要コンポーネントがあります。オントロジーベースの検査ツールは、2台の高速光学カメラによって駆動され、同時にウェーハを撮影します。カメラにはフィルターホイールが装備されており、レイヤーごとに欠陥を解析することができ、非常に正確な結果が得られます。アセットは、高度なパターン認識アルゴリズムと高度な光学系を使用して、正確かつ設定された時間内に欠陥を検出および報告します。一方、エキゾチックなモデルは、検出器を駆動するために、ユニークなタイプの放電装置と複数のコンデンサを採用しています。この方法は、他の方法でテストするのが難しすぎる可能性があるより小さい、より複雑な構造をテストするために特に効果的です。また、コンデンサはさまざまな値に設定することができ、最も複雑な構造でも正確なテストを行うことができます。また、インタラクティブなユーザーインターフェイス、複数のイメージウィンドウ、グラフィカルレポートなど、さまざまな機能を備えています。インターフェイスは、リアルタイムで簡単で使いやすいナビゲーションと画像操作を可能にします。複数のウィンドウを使用すると、両方の画像を並べて表示し、検査結果を比較および検証できます。最後に、システムは、発見された欠陥を詳細にカスタマイズ可能なグラフィカルレポートを生成することができます。LS 6000は、信頼性の高い機能豊富なマスクおよびウェーハ検査ユニットです。そのオントロジーベースのマシンは、そのエキゾチックなツールと組み合わせて、タイムリーに非常に正確な結果を得ることができます。インタラクティブなユーザーインターフェイス、複数のイメージウィンドウ、グラフィカルレポート機能により、半導体業界にとって非常に貴重なツールとなります。
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