中古 HITACHI LS 5000 #293811582 を販売中

HITACHI LS 5000マスク・ウエハ検査装置は、光学イメージングと独自のマスクアライメントアルゴリズムを活用した高精度検査ソリューションです。幅広い半導体アプリケーションのインラインおよびオフラインマスク検査用に設計されており、3Dマスクおよびウェハ検査にも使用できます。HITACHI LS-5000は汎用性の高い5軸ステージを採用しており、独立した軸を組み合わせることで高速な複合ウェハスキャンと優れた登録精度を実現しています。2つのカメラヘッドを同期させて最大45度の傾斜角を実現し、3次元検査が可能です。2つのヘッドのレンズは、マスクサイズに応じて自動的に変更することができます。システムには、欠陥解析を蓄積、管理、実行するウェーハ欠陥レビューソフトウェアが含まれています。ソフトウェアは、マスク検査プロセスと共同で動作し、欠陥を明らかにし、データを収集します。このユニットは、自動欠陥レビューおよび欠陥分類に使用できます。Predictive Defect Finder （PDF）は、画像データ解析からパターンを認識し、潜在的な欠陥を予測する複雑なアルゴリズムを備えています。また、マスク欠陥のリアルタイムレビューを行うことで、マニュアルの再検査をスピードアップすることができます。また、オートスキャン機能により完全自動運転をサポートし、効率的で一貫したマスク検査を可能にします。また、エアタイトインスペクションツールやオートキャリブレーション機能を内蔵しています。このアセットは、CCD計測などのセカンダリシステムで実装することもできます。また、ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、迅速かつ簡単にセットアップでき、生産性が向上します。LS 5000マスク及びウェーハの点検モデルは厳密な条件を満たすことができる非常に信頼でき、費用効果が大きい点検機械です。高精度検査機能と完全自動運転により、大量生産に最適なソリューションです。