中古 HITACHI LA-3100 #293643616 を販売中

HITACHI LA-3100
ID: 293643616
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Aligner, 8" 2001 vintage.
HITACHI LA-3100は、半導体製造の厳しい要求に対応した高性能マスク・ウエハ検査装置です。堅牢な設計で、高度な機能セットにより、さまざまな検査アプリケーションで優れた性能を発揮します。このシステムは、自動倍率チェンジャー(AMC)を備えており、35xから300xの間で可変倍率を提供します。これにより、手動調整なしで最も適した倍率を選択することができます。独自の「インスタントアクイジション」機能により、毎回レンズLA-3100再調整する必要なく、多くのリピート画像を素早くキャプチャできます。さらに、HITACHI LA-3100のHCFD(ハイコントラスト焦点検出)は、画像キャプチャ時に最適な焦点レベルに自動調整する業界トップクラスの機能です。LA-3100はまた、高度なマスクおよびウェハ検査アプリケーションで使用するためのオプションの自動ステージビジョン(SV)も提供しています。SVカメラは日立LA-3100のAMCと同期して動作するため、手作業による介入を必要とせずに、ユーザーが関心のある領域を素早く向けることができます。これにより、画像検査ワークフローの精度と効率が向上します。LA-3100は、高解像度イメージング、マイクロパターン構造検出、両面イメージング、リアルタイムイメージ強化などの追加機能を提供します。これらの機能は柔軟で直感的なプラットフォームを提供し、ユーザーのアプリケーション固有のニーズに最適です。HITACHI LA-3100のユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスにより、簡単な操作とデータ取得が可能です。データベースマシンを内蔵することで、検査プロセスからデータを収集して分析することができ、工具の性能が向上します。オンボード品質管理レビューモードを使用すると、ユーザーは資産の結果を確認し、必要に応じて必要な変更を行うことができます。LA-3100はマスク及びウエハの点検のための広範囲および信頼できる解決を提供します。大型機能セット、高性能カメラ、ステージシステムにより、コスト効率が高く信頼性の高いパッケージで高度なマスク検査機能を必要とするあらゆる半導体メーカーに最適です。
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