中古 HITACHI IS3000E #293706160 を販売中
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タップしてズーム
HITACHI IS 3000Eは、チップパターンの解析・測定を行うマスク・ウエハ検査装置です。レーザー技術を使用してウェーハ表面のデフェクトを検出し、チップ領域のクリーンで再現性のある画像を提供します。IS 3000Eシステムは、最大150mm2のフォトマスクスキャンフィールドサイズを提供します。3D光学ユニットと高解像度充電結合装置（CCD）カメラを搭載し、精密な検査を可能にします。最大解像度は0。6 μ m、最大画像サイズは20Mバイトです。パターン検査で作成した画像は3段階で表示され、最大4倍までズームされます。HITACHI IS 3000Eツールは、高品質の画像と信頼性の高い欠陥解析結果を保証する5チャンネルのポリゴンレーザー設計を使用しています。ポリゴンレーザーは、30mm/sから最大120mm/sまでの可変スキャン速度を提供します。また、マスクとウェハ識別用のバーコードリーダーも含まれています。IS 3000Eアセットには強力な画像解析機能があります。パターン測定、パターン歪み解析、特徴認識、パターン抽出などの標準的な画像解析機能を備えています。このモデルは、高さと角度測定、ピッチ測定、面積/体積分析など、信頼性の高い3D測定機能を提供します。さらに、欠陥解析とパターン検証のためのOPCシミュレーションを提供します。HITACHI IS 3000Eは、ユーザーフレンドリーで信頼性が高く効率的な機器です。自動欠陥認識（ADR）機能を備えており、各ウェーハ表面からのすべての重要な測定値を自動的にチェックおよび検証することができます。これにより、ユーザーは検査および検証プロセスをより大きな制御できます。このユニットのパッケージには、パターン認識ソフトウェア、欠陥測定ソフトウェア、マスク検証ソフトウェアなど、必要なすべての周辺機器が含まれています。また、画像処理や解析、サイト間のデータ転送などのマルチサイトプロセスもサポートしています。全体的に、IS 3000Eマスクとウェーハ検査機は、ユーザビリティ、精度、信頼性を提供します。これは、ウェーハ表面で高品質で信頼性の高い結果を保証したいエンジニアや技術者にとって理想的な選択肢です。
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