中古 HITACHI IS 3000SE #293760735 を販売中
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HITACHI IS 3000SEは、マスクやウェーハ上の複雑な構造やパターンの誤差を検査・検出するためのマスク・ウェーハ検査装置です。このシステムは、高分解能イメージングと高感度レーザービームの組み合わせを使用して、さまざまな材料で10nmの欠陥を正確に検査および検出します。最大200mmのウエハを一気に検査でき、厚さ10µmまでの構造物を検査できます。検査装置は、マスクやウエハの検査に様々な工具を使用した高精度の自動光検査機(AOI)をベースにしています。ターゲット上のパターンや構造を検査するためのレーザービームと、高解像度イメージング用の特殊レンズを使用しています。これにより、マスクやウェーハの欠陥の検出において高い精度が得られます。また、高度な自動スキャン機能を備えており、検出と検査時間の短縮、資産のより効率的な操作を可能にします。また、データをリアルタイムで処理・分析することができ、検出されていないエラーを検出して軽減することができます。さらに、モデルには欠陥パターンを検出するためのインテリジェントライブラリも含まれているため、問題をすばやく簡単に特定できます。この機器は使いやすく、使いやすく直感的なユーザーインターフェイスを備えています。また、柔軟性が高く、さまざまな種類の検査に使用できるように設定することができ、ユーザーはプロジェクトの特定の要件に合わせてシステムを調整することができます。HITACHI IS-3000SEは全体的に、最小限の労力で信頼性の高い結果を提供することができる強力で信頼性の高いマスク&ウェーハ検査ユニットです。マスクやウェーハのパターンや構造を検査する必要があるタスクに最適なソリューションです。その柔軟性と幅広いツールにより、さまざまな検査作業に適しています。
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