中古 HITACHI IS 3000 #9133003 を販売中
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HITACHI IS 3000は、半導体製造プロセスの厳しい要件を満たすように設計されたデジタルマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、マスクパターンやウェーハのサイズ、形状、輪郭などの欠陥を検査できる包括的なソリューションです。優れた画質を提供する高度な光学検査機を搭載しています。このツールは、画像処理技術を搭載したSEMI標準光源を使用しており、最大5ミクロンの解像度で画像を生成することができます。アセットはまた、200ミクロンまでの小さな粒子と総欠陥の検出を可能にします。さらに、検査モデルは、サイズ、形状、プロファイルなどの均一性の変化を検出することができます。この装置には、欠陥検出をより効率的かつ正確にするように設計された自動欠陥レビュー(ADR)システムも含まれています。ADRユニットは、さまざまなプロセスと条件を考慮して、単一の画像で欠陥パターンを検出することができます。さらに、マシンは、誤検出を排除し、画像コレクションを最適化するためのアルゴリズムのセットを利用しています。このツールには、デジタルジェネレータなどのユーザーフレンドリーな機能がいくつか付属しており、欠陥や変動解析のテストパターンを生成するのに非常に効率的です。また、テストの自動化にも対応しており、最大8つの測定プレーンを備えています。さらに、様々な編集機能を備えたオペレータは、生成された画像を簡単に必要な修正を行うことができます。また、直感的なコントロールとディスプレイを備えた高度なユーザーインターフェイスを備えており、検査を迅速かつ正確に設定できます。このモデルには、外部USBポートを介して有効になっている効率的な応力測定チャネルが装備されています。また、検査レポートマネージャも含まれており、管理パネルを通じてカスタムレポートを作成できます。HITACHI IS3000は、お客様に製品の欠陥やバリエーションを検出するための包括的なソリューションを提供する、フル機能のマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは非常に効率的で、欠陥解析や変動解析の精度と信頼性を高める多数の機能が搭載されています。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、設定と操作が簡単になり、検査が簡単かつ効率的になります。
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