中古 HITACHI IS 2700SE #9123256 を販売中
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ID: 9123256
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Defect inspection system, 12"
Process: Scanning electron microscope(SEM)
(2) Loadports: TDS TAS3000
Dalsa controller
TDI Sensor
Laser box
Microscope
Stage assy
Controller card cage (left):
CPK B/D Slot 11~15, 20, 22~25
CPK B/D Slot 16~19, 21
Macro 6642 B/D
TECTRON B/D
Controller card cage (right):
BPK B/D Slot 11~14,17~20, 22~25, 28~31
BPK B/D Slot 15,16, 21,26,27, 32~34
Operation module:
System computer
(3) Power supplies
CCD monitor
PC monitor
Video printer
Laser power switch box
Coherent laser controller
Keyboard, joystick, trackball
Rear cover missing
Power: AC200V, 1 Phase, 3-wires, 50/60Hz, 60A
2004 vintage.
HITACHI IS 2700SEマスク&ウエハ検査装置は、半導体・電子機器製造業界のフォトマスクやウエハを効率的に解析するために設計された高度な自動光検査システムです。これにより、新設計と既存設計の両方で欠陥を迅速に識別することができます。IS 2700SEの設計は、精密6軸ロボットと80メガピクセルの画像処理センサーを備えており、初期段階のマスクとウエハの両方を非常に細部まで検査できます。これは、フロントサイドとリバースサイドの両方と複雑なマルチサイド検査を提供しています。また、水晶基板やガラス基板の欠陥を特定するウエハ検査機能も搭載しています。HITACHI IS 2700SEは、高精度の光学イメージング技術を活用し、最大2ナノメートルの小さな欠陥を正確に検出します。ユニークなのはマルチビーム共焦点光学構成で、一般的なレンズツールよりも実質的に正確な画像を得ることができます。これにより、IS 2700SEは欠陥をより迅速に識別し、正確な結果を数秒で登録できます。マスクとウエハータイプの組み合わせに対応できるプローブの配列により、アセットは平らな表面、マイクロエレクトロード、ステップサーフェス、および溝のある材料を検査できます。このモデルは、自動テストの範囲を持っており、ユーザーが結果を表示し、テストのパラメーターを設定することができるさまざまなソフトウェアで使用することができ、より迅速かつ効率的に実施することができます。ソフトウェアには、欠陥分類、検出調整、エリア指向検査、フォルトローカライズ、しきい値パターン、シーケンシャルディフェクトマップが含まれます。HITACHI IS 2700SEは、ユーザーがタスクの実行方法をカスタマイズできる幅広いツールを提供しています。画像と欠陥メモリ、自動変換プログラミング、検出ワークフロー監視などがあります。また、操作を簡素化し、オペレータが存在する必要性を排除するユーザーフレンドリーなGUIインターフェイスを備えています。IS 2700SEは、フォトマスクやウェーハの欠陥を効率的に解析し、自動検出するための高信頼性で効率的なツールです。自動化されたテストとユーザーフレンドリーなGUIにより、強力な検査機能を提供し、あらゆる半導体および電子機器製造施設に必須です。
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