中古 HITACHI IS 2700SE #9044470 を販売中
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ID: 9044470
Defect inspection system
Power : 200VAC, 60A, 3phase, 50/60Hz
Operation unit:
Upper & Lower Monitor
Keyboard & Joystick
System Computer
CP750A Video Printer
Main AC Power Box
Coherent Laser Box
Missing:
Dalsa Header and controller
Stage X-Y controller
Stage Z controller
Robot Assembly in loader unit
TDK TAS300 Load port, L/R
2001 vintage.
HITACHI IS 2700SEは、さまざまな用途に使用できるプロフェッショナルグレードのマスク&ウエハ検査装置です。システムはコントロールコンソール、イメージングステーション、ウェーハステーションで構成されています。コンソールには、中央処理ユニット、コマンドプロセッサ、および補助サポート機器が含まれています。イメージングステーションには、プログレッシブスキャンCCDカメラ、たわみと乱視補正光学、完全自動ウェハステージを備えたマスクステーションがあります。ウエハステーションには、ウエハチャックと8インチのオープンフレームイメージセンサーが搭載されています。検査プロセスは、サンプルマスクのウェハエッジ、膜、チップパッキングの欠陥を検出するように設計されています。色検査、画像強化、計測、統合欠陥解析などの機能が搭載されており、マスクの検査を迅速かつ正確に行うことができます。CCDカメラは4Kピクセル解像度で、サンプルマスクの高解像度画像を提供します。カメラのダイナミックレンジは、さまざまなレベルの明るさ、コントラスト、色、パターン、解像度でさまざまなマスクを見ることができます。検査装置には、検査対象のサンプルマスクに応じて検査設定を選択できるフィルタープリセットも多数用意されています。さらに、このツールには、細かい欠陥検出と自動欠陥解析を容易にするための多数のアルゴリズムが含まれています。IS 2700SE assetは、マスク&ウェーハ検査用の高効率モデルです。それにさまざまな装置機能の容易な制御を可能にするソフトウェアインターフェイスがあります。このシステムは、さまざまなプログラムを実行することができ、マスク検査のプロセスを大幅に高速化します。さらに、CCDカメラ、光学、フィルタープリセット、自動欠陥解析アルゴリズムなどのコンポーネントにより、ユーザーは正確で信頼性の高い検査結果を得ることができます。
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