中古 HITACHI IS 2700SE #293760736 を販売中

HITACHI IS-2700SEは、半導体業界の品質保証プロセスを容易にするために設計された高性能マスクおよびウェーハ検査装置です。3Dステレオ三角測量に対応し、高精度な欠陥検出が可能です。システムはメインモジュール、画像取得ユニット、ウエハハンドリングロボットで構成されています。メインモジュールには、特許取得済みの投影アライメント技術と、マスクやウェーハの顕微鏡画像を素早くキャプチャおよび分析するインテリジェントイメージングアルゴリズムが装備されています。精密欠陥検査用の高解像度、高感度の288nmレーザー光源を特長としています。モジュラー設計により、修理やアップグレードを簡単に行うことができます。メインモジュールはまた、データの迅速な処理を可能にするために、下流の製造装置への統合された自動リンクを提供します。画像取得ユニットはオプションのアクセサリーで、正確な画像安定化と高速処理を提供します。2つのCCDカメラを使用してマスクやウェーハの立体画像を撮影し、低倍率と広い視野の両方が可能です。エッジエンハンスメントユニットとハイダイナミックレンジフィルターを搭載し、比類のない精度でサンプルの細部をキャプチャできます。ウェーハハンドリングロボットは、ウェーハまたはマスクを迅速かつ正確に移動するように設計されています。精密な動きとメインモジュールとの正確なアライメントのための4軸ロボットアームを装備しています。ロボットは自動化されており、複数のウェーハやマスクを簡単にロード、アンロード、および処理することができます。全体として、IS-2700SEは革新的で包括的なマスクおよびウェーハ検査機であり、正確な欠陥検出と信頼性の高い自動データ処理を提供するように設計されています。半導体業界における品質保証と製造の最先端ソリューションです。