中古 HITACHI IS 2610 #9158756 を販売中

HITACHI IS 2610は、設計、製造、およびレチクル管理の段階でフォトマスクの検査用に設計された広域自動マスクおよびウェハ検査装置です。全自動・高精度のスキャン・検査システムで、さまざまな画像・ウエハータイプに対応しています。このユニットはユニークな光学アセンブリを備えており、ユーザーは最大12.5µmの解像度で、フォトマスクやウェハサンプルの広範囲を素早くスキャンして検査することができます。IS 2610は非常に汎用性が高く、二次元パターン認識などのさまざまな実験に使用することも、パターンを0.5µmに小さく調べることもできます。このマシンにはオートトラック機能が搭載されており、ユーザーは手動で介入することなく、サンプル画像の自動パターン認識、マスク追跡、およびマスク登録を実行できます。このツールは、5 軸CCDカメラと回転光軸を使用しており、画像解析と検査における最大限の精度を可能にします。複数の画像処理アルゴリズムを使用して、サンプル表面の傷、バリなどのさまざまな欠陥を検出できます。アセットには、ユーザーが設定を同じタイプの他のユニットに転送できる共通の設定ファイルに保存できるユニークな機能もあります。また、人間工学に基づいた省スペース設計を採用しています。ワーキングテーブルを内蔵しており、持ち運びが容易で、任意のサイズや角度に簡単に調整でき、精密な検査が可能です。また、プリンターやスキャナなどの幅広い周辺機器との通信も可能です。HITACHI IS 2610の光学アセンブリは、レーザーと超高高調波イメージングを組み合わせて作動します。これにより、ウェーハ基板上の最適な機能（エッジ、コーナー、パターンなど）を迅速かつ正確に検出できます。ユーザーは、ユーザーの特定のニーズに合わせて最適なイメージング条件を選択することもできます。IS 2610は、高品質のウェーハとマスクを製造するために不可欠なツールであり、研究、製造、試験室での使用に最適なシステムです。その高度な機能により、ユーザーは設計を迅速かつ正確にシミュレートおよび分析することができます。HITACHI IS 2610は、マスク生産やウェハ検査に伴う生産性の大幅な向上と生産コストの削減に使用できます。