中古 HITACHI IS 2500 #293703871 を販売中

HITACHI IS 2500は、ICウェーハやマスクメディアの欠陥やプロセスのバリエーションを自動検出、識別、補正するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。HITACHI IS-2500システムは、光学自動検査（AOI）ユニットを内蔵した2次元（2D）自動ウェーハおよびマスク検査ステーションです。CCDカメライメージング技術を使用して、複数のレベルにわたる欠陥を検出および識別し、直径5x5mmから200mmまでの幅広い基板サイズに対応できます。マシンは、0。1mmから12mmのスキャン範囲を持っています、フルオーバーラップを含みます、そして、すべてのスキャン中にパフォーマンスパラメータに関する重要なデータをキャプチャ、欠陥、およびプロセスの偏差。IS 2500ツールは、優れた欠陥およびプロセス変動検出機能を備えています。マクロサイズの粒子、マクロボイド、バブルなどの重大な欠陥を検出して識別し、1µmの欠陥まで検出することができます。また、ウェーハ上の傷、ピンホール、ピンマークなどの視覚的欠陥を検出して識別することができ、不適切なイオン注入レベルなどのプロセス異常を検出して識別する機能もあります。このアセットは、簡単な指示と画面上のヘルプのオプションを備えたユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えており、簡単なセットアップとパラメータの調整のためのラップトップが装備されています。また、データ分析のための高度なソフトウェアプログラムや、時間の経過とともにプロセスの傾向を自動的に監視する機能も備えています。このデータは、生産歩留まりを向上させるために、運用パラメータとプロセス制御を最適化するために使用できます。IS-2500装置は、半導体産業における品質保証のための効率的で費用対効果の高いソリューションです。不適合基板またはマスク欠陥による高価な歩留まり損失のリスクを最小限に抑えるように設計されています。システムはまた、新しい機能や改善された機能が利用可能になると、将来的にアップグレードして拡張することを容易にするモジュラー設計で構築されています。