中古 HITACHI IS 2500 #293657153 を販売中

HITACHI IS 2500は、完全なパターン検証と欠陥検出ソリューションを提供する高精度のマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、ナノメートルレベルの精度を実現するために、フィールド内検査ユニットを使用しています。これは、高度なアルゴリズムと機械学習技術を使用して、従来の光学検査だけでなく、自動欠陥検出を実行するように設計されています。このマシンは、そのハイエンド光学系を活用し、収差補正光学などの特殊光学系と組み合わせてパターン認識と欠陥検出を行うことができます。レンズとミラーのユニークな組み合わせにより、幅広い視野角で超高解像度の画像を作成し、パターンの異常や欠陥を特定できます。このアセットは高度なパターン認識アルゴリズムを備えており、高い精度であらゆる欠陥をすばやく識別することができます。限界高調波、高周波判別、相互相関などの特徴比較技術を用いることで、ターゲットパターンとその参照パターンの違いを効果的に判断することができます。これは、電気ショーツ、ブレーク、間隔違反、および過剰描画など、ローカルおよびグローバルの両方の欠陥を検出することができます。また、最終ウェーハパターンの精度を保証する高精度のオーバーレイエラー測定装置を搭載しています。インラインとアウトオブラインの両方の検査技術を使用して、垂直および横方向のオーバーレイエラーを測定および修正します。これにより、登録のずれや連続したレイヤー間の不一致に関連する測定誤差が低減されます。最後に、HITACHI IS-2500のソフトウェアパッケージには、検査結果を監視および分析するための高度な分析インターフェイスが含まれています。これには、ビジュアルオーバーレイ、欠陥時間追跡、同一ウェーハの複数の設計とレイヤーの比較が含まれ、高精度な検出と検証結果を得ることができます。全体的に、IS 2500の包括的な機能セットと高精度により、高度なマスクおよびウェーハ検査システムをお探しの方に最適です。その特殊な光学部品、パターン認識アルゴリズム、分析インターフェイスにより、高精度な結果を提供し、すべての欠陥を特定して修正することができます。