中古 HITACHI IS-2000 #293820662 を販売中

HITACHI IS 2000は、厚いウエハや多層膜を効率的に検査するために設計されたマスク&ウエハ検査装置です。IS 2000は、高精度な欠陥検出のための高精度ダイダイ比較を特徴とし、製造ラインにおける半導体部品の信頼性の高い品質と歩留まり制御を提供します。このシステムは、対物レンズを備えた光学顕微鏡、Illuminator、およびウェーハとマスクの画像をキャプチャするCCDカメラで構成されています。液晶モニターに画像を表示します。画像処理ユニットは、サンプル画像とターゲットを比較します。金属層の粉塵、粒子、傷、配線パターンの接触ビア、マスクの欠陥などの違いが検出されます。HITACHI IS 2000光源は、反射イメージングと透過イメージングの両方に適しているように最適化されています。それは均一な照明を作り出すより高い温度の許容の高い力のハロゲンランプを採用します。アクティブ冷却機が内蔵されており、ランプが高温に達するのを防ぎます。IS 2000は、高精度の対物レンズを使用してサンプルの画像をキャプチャします。レンズは複数のレンズで設計されており、ウェーハの高精度なアライメントが可能です。高精度な4軸アライメント機構により、ウェーハ上の複数の点を素早く正確にアライメントできます。HITACHI IS 2000の画像処理ユニットは、2048×2022ピクセルのCCDカメラを採用し、優れた解像度とコントラストを提供します。最先端の光学技術とイメージング技術を組み合わせたIS 2000は、最高レベルの精度でさまざまな欠陥を検出することができます。HITACHI IS 2000はマルチマスク比較やダイマーク解析も可能です。マスクデータとターゲットパターンを比較することで、最も微妙な違いを検出することができます。全体的に、HITACHI IS 2000は、厚いウエハや多層フィルムを効率的に検査するための優れたツールです。高度な光学技術、高度なイメージング技術、強力な画像処理機能を組み合わせることで、さまざまなエラーや欠陥を高い精度と信頼性で検出することができます。