中古 HERMES MICROVISION / HMI eScan 500 #9285022 を販売中

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HERMES MICROVISION / HMI eScan 500
販売された
ID: 9285022
E-Beam inspection system.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 500は、半導体の欠陥を識別し、リソグラフィを表示するための信頼性の高い正確な方法を提供する自動マスクおよびウェーハ検査装置です。HMI eScan 500は、強化された修理および製造、ロボットウェーハ検査、マルチビーム分析および検査システムソフトウェアという4つの異なる検査要素を使用して、ダイダイ検査、レチクル検査、フラットパネルLCDなどの重要なプロセスの精度と品質保証を提供します。高められた修理および製作の技術(ERFT)はHERMES MICROVISION eScan 500がパターン欠陥、イメージングヘイズ、および端の波動のような重大な製作の問題を、識別することを可能にします。ロボットウェーハ検査(RWI)は、ロボットアームを使用して、フラットパネルLCDウェーハなどの複雑な表面をスキャンします。リファレンスダイへのアライメント、ダイツダイ検査などの機能により、ウェーハスループットとプロセス制御を最適化できます。また、ERFTマシンで最初に検出されなかった重要なダイ欠陥に使用できる複数のビームを使用するビジョンベースユニットを備えています。eScan 500は、マルチビーム解析技術(MBAT)レンズを使用して、問題の原因を迅速かつ正確に把握できます。電子ビーム(eビーム)またはレーザースキャンは、疑わしい欠陥の正確な位置を特定するために使用されます。顕微鏡とソフトウェアを使用して、HERMESは機械読み取り可能なスキャンを基準と比較して、欠陥を修復する必要があるかどうかを判断します。さらに、HERMES MICROVISION/HMI eScan 500上のMBATは、これらの欠陥の画像を生成し、プランナーまたはエンジニアに物理的な証拠を提供するためにそれらをキャプチャすることができます。最後に、検査ツールソフトウェア(ISS)は「、プロセスマップ」または「ピクセル」を使用して、イメージングパラメータとレーザスポットサイズと位置を正確に調整することができます。これにより、画像はアライメント、エッジ処理、イメージングなど、プロセスの各部分に常に仕様内にあることが保証されます。HMI eScan 500はマスクおよびウェーハの点検のための高度で、洗練された器械で、製品の機密性および品質保証を保障します。クラス最高の技術により、エンジニアと品質管理担当者は、以前に検出されなかった可能性のある欠陥を迅速に特定できます。さらに、HERMES MICROVISION eScan 500は、半導体業界やディスプレイ・リトグラフィー業界の組織にとって時間とコストを節約する手頃な価格で使いやすい資産です。
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