中古 HERMES MICROVISION / HMI eScan 405 #9249422 を販売中

HERMES MICROVISION / HMI eScan 405
ID: 9249422
ヴィンテージ: 2003
E-Beam inspection system 2003 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 405は、最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、ウェーハおよびマスク製品の欠陥や不整合を4ミクロンのピッチまで検出するように設計されています。自動化されたウェーハプリアライメントとスキャン、ホワイトライトイメージング、自動ウェーハ認識、高度なデータ取得と操作機能を提供します。HMI eScan 405は、幅広いアプリケーションで使用できるユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えた使いやすいメニュー駆動のソフトウェアを使用しています。このユニットは、高解像度の光学系を備えており、完全な基板領域を正確にスキャンすることができ、高度なデータ収集技術と組み合わせることで、より速い分析時間を提供します。HERMES MICROVISION eScan 405はまた、高効率の部分視野(PFOV)イメージングマシンを備えており、迅速かつ効率的な画像キャプチャを可能にします。このツールは、目的の欠陥をスキャンしてキャプチャするだけで、画像のキャプチャ時間を効果的に短縮します。EScan 405には、はんだボール、マイクロバンプ、ビアなどの部品と相関する高度なパターン認識アルゴリズムも含まれています。このアルゴリズムは、自動欠陥分類を可能にし、効率的な欠陥検出を保証します。さらに、このアセットは自動ツールキャリブレーションを備えており、ツールの手動配置にかかる時間を最小限に抑えます。ウェーハエッジを自動的に識別する専用レーザースポットファインダーと、すべてのエッジ検出および検査ジョブを自動的に実行する自動欠陥認識サブモデルを備えています。最後に、HERMES MICROVISION/HMI eScan 405には、高倍率ステージを使用して正確な欠陥レビューと分析を可能にする統合欠陥レビューステーションが含まれています。このステーションには、欠陥を個別に測定および処理する高解像度LED検出器アレイが装備されており、各問題についての詳細な情報をオペレータに提供します。HMI eScan 405は、高度な光学およびデータ収集技術と自動ウェーハ処理およびLED検出機能を組み合わせることで、ウェーハおよびマスク製品の最高品質を保証します。ユーザー中心の設計により、オペレータはマシンに残されたタスクに時間を費やすことなく、製品の欠陥や不整合を迅速かつ正確に特定して対処できます。
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