中古 HERMES MICROVISION / HMI eScan 400 #9311075 を販売中

HERMES MICROVISION / HMI eScan 400
ID: 9311075
ヴィンテージ: 2011
E-Beam defect inspection system Process: Metro 2011 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 400は、パターン化されたマスクとウェーハの精密かつ効率的なイメージングと分析を目的に設計された高解像度マスクおよびウェーハ検査装置です。チップおよび薄い基板上の欠陥や不適合の検出、診断、修正のための包括的なソリューションを提供するさまざまなソフトウェアおよびハードウェアコンポーネントを提供しています。HMI eScan 400は、複数のピクセルアレイを備えた高感度、低ノイズのCCDイメージングシステムを備えており、ウェーハやマスクの非常に高解像度の画像を簡単にキャプチャできます。このユニットはまた、小さな欠陥または適合を識別するための堅牢な断面画像取得および表示機能を備えています。HERMES MICROVISION eScan 400は、最大0。01m、 50mmの視野の再現性を提供する高速単軸ウェーハステージを備えています。また、迅速なステージ移動やサンプル交換にも対応しています。ステージ以外にも、マシンにはさまざまなタスク用に設計されたいくつかのソフトウェアプログラムが付属しています。画像解析および測定には、強力なエッジ検出アルゴリズム、信頼性の高いパターン認識アルゴリズム、基板およびコンポーネント分析用の効果的なインライン検査ツールなどの特殊なアプリケーションを提供します。さらに、eScan 400には高度に統合されたデータ処理資産があります。データの選択、表示、レポート作成に強力なソフトウェアプログラムを使用します。この統合モデルは、ホストシステムや他のコンピュータ制御システムとの効率的な通信を容易にします。さらに、装置は結果を貯えることができ、異なったウエハまたはマスクの性能評価そして比較を容易にする。HERMES MICROVISION/HMI eScan 400システムには、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えた設計の優れたユーザーインターフェイスと、リモート設定、最適化、および監視のための幅広い機能が含まれています。さらに、このユニットには、ウェーハ識別用の直感的なナビゲーションマシンがあります。要するに、HMI eScan 400は、マスクおよびウェーハ検査のための高性能で費用対効果の高いソリューションです。高感度CCDイメージングツールと強力なエッジ検出およびパターン認識ソフトウェアプログラムを組み合わせて、チップや薄い基板上の欠陥や不適合を正確に検出、診断、修正します。統合されたデータ処理とユーザーインターフェイスにより、使いやすくなります。この高効率で信頼性の高いアセットは、パターン化されたウェーハやマスクの高解像度イメージングおよび精密検査に最適です。
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