中古 HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #9378991 を販売中

HERMES MICROVISION/HMI eScan 320は、半導体ウェーハおよびマスクをさまざまな属性で検査するために設計されたマスク&ウェーハ検査装置です。このシステムは、白色光源とイメージングカメラの2種類の顕微鏡を組み合わせて使用しています。HMI eScan 320は、空気や油浸しなどのさまざまな目的を持つ標準的な明るい光学顕微鏡を使用して、ユーザーはミクロンレベルまで領域を検査することができます。大規模な研究および生産アプリケーションのために、5軸の電動ステージは、サブミクロン精度でx、 y、およびz軸のターゲットの動きを可能にします。10xから200xまでのさまざまな倍率設定により、検査機能の最大限の柔軟性を実現します。HERMES MICROVISION eScan 320のデジタルイメージング機能は、高度なZeiss AxioCam ICMSデジタルカメラによって提供され、最大1600倍の画像を撮影できます。カメラには、最大36枚の画像/秒のフルフレームレートを備えた高速14ビット充電結合デバイス（CCD）が搭載されており、優れた画像鮮明性とディテールを提供します。カラーとモノクロの両方の検証モードがサポートされています。また、外部カラーモニターをカメラに接続して画像をカラーで表示することもできます。また、高輝度LED白色光源を採用し、視野全体にわたって一貫した照明を実現しています。LED光源は、強度が可変であり、最適な画像を可能にする低熱変動の広い視野角を提供します。EScan 320は、優れた画質と精密性能を提供する統合検査機です。このツールは、高度に詳細なマスクとウェーハを拡大、記録、および画像化することができ、優れた検査能力を必要とする製造および研究アプリケーションに理想的なソリューションを提供します。