中古 HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #9171729 を販売中

HERMES MICROVISION/HMI eScan 320は、ウェーハとマスクの両方で欠陥やその他の不規則性を効率的に検出するために設計された完全に統合されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、2次元および5次元イメージングを実行でき、1ピクセルあたり最大17ミクロン、および改善された機能を備えた最大32nmの解像度を測定できます。HMI eScan 320は、高度なイメージング技術を使用して、材料や最高の寸法に関係なく、さまざまなマスクやウェーハにわたる微細な欠陥と大規模なばらつきの両方を自動的にスキャンして検出することができます。このユニットは、ダイナミックイメージング技術を使用して、画像を迅速かつ正確に比較し、チップの連続性または品質に影響を与える可能性のある不規則性を検出します。さらに、HERMES MICROVISION eScan 320は、速度とカバレッジの増加により、広い領域で高度な欠陥解析を行うことができます。この高度な解析には、大型ライン欠陥、トレフォイル欠陥、多角形欠陥、ピッチ欠陥など、さまざまな種類の欠陥に対する等方性解析が含まれます。また、小さな直径の穴、ゲート距離のばらつき、ショートパンツのための局所化された欠陥イメージングも含まれています。EScan 320は低消費電力モードで動作し、同時に消費電力を削減しながら、広い領域の高速検査を可能にします。この携帯用、卓上機械は容易に運ばれ、作動するように設計されています。このツールには、モデルパフォーマンスとメンテナンス活動を監視するための組み込みの資産スーパーバイザも付属しています。HERMES MICROVISION/HMI eScan 320は、さまざまな材料のさまざまな欠陥を検出および分析できる強力で費用対効果の高いマスクおよびウェーハ検査装置です。HMI eScan 320は、高度なイメージング技術、高精度、低消費電力のおかげで、マスクおよびウェーハ検査プロセスを最適化するために探している製造業者に最適なツールです。