中古 HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #293641226 を販売中

ID: 293641226
ウェーハサイズ: 12"
E-Beam inspection system, 12".
HERMES MICROVISION/HMI eScan 320は、フォトマスクおよびウェハエッジイメージの正確で高速な検査を提供する強力なマスクおよびウェハ検査装置です。優れた精度と信頼性の高い検査結果を提供し、ダウンタイムを最小限に抑え、メンテナンスを最小限に抑えます。HMI eScan 320には、最大18MPまでマスク表面をスキャンできる8µm充電結合デバイス(CCD)センサーが装備されています。強力な処理ソフトウェアと、カメラの正確な位置決めとイメージングセンサーの正確な位置合わせを保証する自動カメラアライメントシステムが含まれています。HERMES MICROVISION eScan 320は、標準マスクとカスタムマスクの両方を検査するために使用できる幅広い照明タイプを備えています。これには、トップビュー、サイドビュー、ボトムビューイルミネーションが含まれます。また、EWA (Enhanced Wafer Alignment)モードやフルマスクアライメントモードなどの複数の画像キャプチャモードも提供しています。さらに、高解像度および低解像度ウェーハの検査に使用される高度な光学系を備えています。EScan 320には、正確で反復可能なマスク検査結果を可能にするさまざまな機能があります。これらには、高感度カメラ、特許取得済みのマルチパターン波面イメージング技術、オートフォーカスユニット、高度な処理ソフトウェアが含まれます。これらの機能により、HERMES MICROVISION/HMI eScan 320は、2ミクロンの小さな欠陥を検出し、最大の精度と再現性を提供します。さらに、HMI eScan 320には独自の自動欠陥認識マシンがあり、ウェーハやマスクの粒子や傷などの重要な欠陥の完全な欠陥画像を生成できます。これらの画像は、欠陥の比較と分析に使用され、欠陥の原因と適切な是正措置を決定するのに役立ちます。最後に、HERMES MICROVISION eScan 320は、操作とメンテナンスが簡単なユーザーフレンドリーな検査ツールです。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)と使いやすいユーザーフレンドリーなソフトウェアが含まれているため、さまざまなアプリケーションやタスクに簡単に適応できます。さらに、eScan 320をアップグレードして新しいテクノロジーに対応できるため、業界標準のマスクおよびウェーハ検査プロセスで最新の状態を維持できます。
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