中古 HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #293627009 を販売中

HERMES MICROVISION / HMI eScan 320
ID: 293627009
E-Beam inspection system.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 320は、重要なマスクおよびウェーハ形状の精密測定、分析、検証を可能にする強力な自動マスクおよびウェーハ検査装置です。半導体マスクや半導体/PV/ICウエハーの不一致や欠陥を明らかにするために、高度なイメージング技術を活用しています。HMI eScan 320は、革新的な設計と技術の進歩を利用して、検査精度、精度、速度の面で優れた結果を達成することができます。これは、比類のない解像度とコントラストでマスクやウエハの画像を迅速かつ正確にキャプチャし、関連する業界固有の基準に準拠して結果を正確に測定することができます。このユニットは、検査ステーション、ステージングラック、および解釈負荷/アンロードマシン間の基板を自動的に移動することができるユニークな自動ローダを備えています。これにより、プロセスが大幅に高速かつ容易になり、スクラッチや汚染のリスクが低減されます。優れたイメージング性能に加えて、HERMES MICROVISION eScan 320は最新のユーザーインターフェイスを備えており、オペレータがツールと対話するためのシンプルで直感的な方法を提供します。タッチスクリーンコントロールペインを使用すると、ユーザーは資産パラメータを素早く簡単に変更し、結果を確認し、さまざまな有用な視覚支援にアクセスできます。さらに、フォーカス、露出、スキャン角度など、さまざまな自動パラメータを個々のジョブごとに調整することができ、プロセス全体をはるかに柔軟にします。EScan 320は、複雑な形状の項目を迅速かつ迅速に正確に測定できるため、マイクロエレクトロニクスメーカーにとって貴重なツールです。HERMES MICROVISION/HMI eScan 320は、独自の自動ハンドリングモデル、直感的なユーザーインターフェース、シャープな画像解像度を備え、あらゆる半導体マスクやウェハ検査機器に最適です。
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