中古 HERMES MICROVISION / HMI eScan 310 #9281449 を販売中
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ID: 9281449
ウェーハサイズ: 8"-12"
E-Beam defect inspection system, 8"-12"
FOUP, 12"
SMIF, 8"
Transfer unit
Chamber room
Powerbox
Power processor
Loader.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 310は、正確で高速、高解像度のウェーハおよびマスクイメージングを提供するように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。3D計測、欠陥検出、フォトマスク、レチクル、マイクロエレクトロニクスディスクリート部品、およびMEMSデバイスの製造監視用に特別に設計されています。HMI eScan 310には、高解像度イメージング機能と優れた汎用性を備えた高度な顕微鏡技術が搭載されています。そのユニークな光学およびインテリジェントイメージングソフトウェアは、高解像度で低ノイズの3D画像を作成するように設計されています。最大5nmのクリティカルな解像度を実現し、複雑な形状と高密度パターンを包括的に表示できます。また、高度なビームコントロールと超現実的な画像シーケンスを備えており、表面とその詳細を完全に3D画像化することができます。高速なデータ取得と高速な画像処理により、簡単かつ正確な画像解析が可能です。さらに、HERMES MICROVISION eScan 310には、広域ユニット、ネイティブ統合CADツール、直感的な3Dビューア、検査プロセスを簡素化するフルオートメーション機能が備わっています。デュアルカメラによる検査をシングルカメラと組み合わせることで全面検査が可能となり、最小の機能でもフルカバレッジ撮影が可能となります。このツールはまた、さまざまな材料の欠陥を特定し、摩耗レベル、輝度の均一性、サブピクセル分解能の変動、およびその他の基板パラメータを検出するための高度なアルゴリズムを提供します。また、sinc-radial、 coplanar、六角形などの様々なマスクフォーマットにも対応しています。さらに、eScan 310は、ユーザーが結果を表示、比較、分析、レポートするためのインタラクティブなユーザーインターフェイスを提供します。また、時間をかけて比較できる複数のデータセットを提供し、欠陥検出の正確性を確保します。全体として、HERMES MICROVISION/HMI eScan 310は、高速で高解像度のイメージングを提供できる高度なマスクおよびウェーハ検査アセットです。さまざまな材料の欠陥を検出することができ、ネイティブ統合されたCADツール、自動データ取得、高度なアルゴリズム、直感的な3Dビューアなどの強力な機能を備えています。さらに、このモデルは、検査プロセスをユーザーにとって簡単かつ迅速にするための包括的な機能セットを提供します。
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