中古 HERMES MICROVISION / HMI Epointer #9259976 を販売中

HERMES MICROVISION/HMI Epointerは、フォトリソグラフィおよびナノリソグラフィ製造プロセスで使用するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。高解像度マスクやウェーハの誤差や欠陥を正確かつ確実に検査するために使用されます。HMIエポインターシステムは、低コヒーレンス光源とデジタルCCD/CMOSカメラを備えています。これにより、ナノメートルスケールでも、高コントラストでシャープな欠陥画像をキャプチャできます。この検査ユニットは強力な光学コンパレータを使用しており、異なるマスクとウェーハの画像をモンタージュして特徴を比較することができます。これにより、基板のスケールや構造に関係なく、基板のすべての領域にわたる欠陥検出が保証されます。HERMES MICROVISION Epointerマシンには、自動欠陥レビュー機能も内蔵されています。これにより、手作業による介入の必要性が軽減され、検査時間が短縮され、効率が向上します。強力なオートメーションツールを使用すると、画像の欠落や線幅のエラーなどのエラーを簡単に検出できます。この検査資産は、使いやすく操作しやすいように設計されています。人間工学に基づいており、顕微鏡の位置を最適に調整することができます。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、特定の検査要件に合わせて簡単に調整できます。Epointerモデルは、SEMI-E82規格とSEMI-E87規格の両方をサポートしています。これにより、さまざまなフォトリソグラフィおよびナノリソグラフィ用途での使用に適しています。その画像処理技術は、欠陥やエラーを正確かつ高品質に検出することができます。結果は、2D画像と3D画像の両方を備えた複数の表示モードで表示されます。全体的に、HERMES MICROVISION/HMI Epointerは、マスクとウェーハの検査をこれまで以上に簡単かつ正確にします。その先進的な機能と人間工学に基づいたデザインにより、さまざまなフォトリソグラフィおよびナノリソグラフィ用途での使用に最適です。