中古 HANMI 3D Vision #9256297 を販売中

HANMI 3D Vision
ID: 9256297
Lead inspection systems.
HANMI 3D Visionは、超高速操作、精度、サンプルスキャン、測定を容易にしながら、リソグラフィや検査などのプロセスの信頼性と精度を向上させるために設計された高度な2D/3Dマスクおよびウェハ検査装置です。この高度なシステムは、最大1ミクロンの精度で、長方形、円、円弧などのマスクやウエハ形状の様々な形状を測定するように設計されています。高度なアルゴリズムにより、マスク内のオブジェクトを正確に識別、分類、分析することができ、HANMIがパターンや欠陥を正確に検査することができます。また、様々な材料のパターンを解析することで、検査基準を簡単に調整することができます。明るく暗い光源を使用するこのマシンは、1つのチップで最大4kダイ領域を評価し、露出したリソグラフィー・マスクのウェハレベルの画像を撮影し、オーバーレイ、パターン、ライン、欠陥ウェハを分析することができます。HANMI紫外線源は、これまで検出できなかった半回折限界の欠陥を同定する可能性もあります。このツールのイメージング機能は、25ミクロンの深さと200Kピクセル以上の画像をキャプチャすることができ、ユーザーが検査するための幅広い診断データを提供します。また、大型画像データを低ノイズレベルでキャプチャ・保存する高精度なCCD(充電結合デバイス)イメージング装置により、検査プロセスをさらに高速かつ高精度にします。アセットの自動検査機能には、パターン認識、パターンマッチング、ウェハ検査、欠陥列挙、ライン/高さ測定、位相相関などがあります。また、合格/不合格統計、欠陥分布、マスク精度などのレポートを生成し、検査結果を正確に分析することができます。さらに効果を高めるために、HANMIは3Dビジョン測定、欠陥検出、パターン解析を組み合わせ、マスクとウエハレイアウトの両方を同時に識別して分析することができます。これだけでなく、ズーム機能も内蔵しており、小物を正確に計測することができます。全体として、HANMI 3D Vision装置は、マスクおよびウェーハ検査の時間とコストを大幅に削減し、精度と信頼性を向上させることができます。現在利用できる最も洗練された、強力なマスクおよびウェーハの点検システムの1つにそれを作って下さい。
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