中古 HANMI 3D Vision #9228320 を販売中

HANMI 3D Visionは、製品の欠陥がなく、市場投入までの時間が短くなるように、超高解像度の画像を提供するように設計された包括的なマスクおよびウェーハ検査装置です。これは、高度な計測システムを備えたサブサーフェスイメージング技術と、設計から製造プロセスの圧縮を可能にする自動化されたワークフローを組み込んだユニークな3D検査ソリューションです。このシステムは、光学設計監視、欠陥認識と分類、パターンマッチングと比較、パターンクリティカル寸法測定など、さまざまな重要な検査を行うことができます。3D Visionの高速AFMオプションは、特許取得済みのイメージング戦略を使用して、単一のスキャンサイクルで多軸イメージングを取得します。これにより、従来のリソグラフィ技術では検出が困難であった集積回路における近似時間の結果と特性評価が可能になります。さらに、革新的なEPV （Progressive Voltage）イメージングアルゴリズムにより、高コントラストで均一な画像を生成します。これにより、埋め込まれた連絡先やビアなどのプロセス署名の正確さを特定できます。また、高度なパターン認識とダイソート機能を備えており、より効率的なプロセスフローと歩留まり管理を可能にします。HANMI 3Dビジョンカメラツールは、さまざまなアプリケーションのソリューションをカスタマイズするためにスケーラブルです。高解像度CCD技術とディープフォーカスにより、サブサーフェスイメージングを可能にし、厳密なマクロレベルおよびマイクロレベルの検査を可能にします。アセットの組み込み線幅測定モデルは、ライン構造と空間構造、接触穴、ビア、オーバーレイ、登録など、あらゆるタイプの上位構造の精密測定を提供します。この装置は、セットアップと使いやすさを最小限に抑えて、既存の生産プロセスにシームレスに統合するように設計されています。ポストプロセッシングデータのためのさまざまな自動化されたプロセスと統合されており、ウェーハとレイヤーの読み取りが容易な3Dビューを提供します。3D Visionは、最高の歩留まりと市場投入までの時間を保証するマスクおよびウェーハ検査用の信頼性と堅牢性を備えた製品です。検査および計測において高度な機能を備えた優れた柔軟性を提供し、チップメーカーや設計者が一貫して生産品質を向上させるのに役立ちます。