中古 ESTEK / ADE AWIS #9037134 を販売中

ESTEK/ADE AWISは、ウェーハおよびマスクメーカーの生産効率と精度を最大化するために設計された包括的な自動ウェーハおよびマスク検査装置です。このシステムは、自動検査および欠陥解析の全範囲にわたって効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。ADE AWISは、強力な光学およびイメージング機能と高度なプロセス制御を組み込んだ精密機器ユニットです。ウェーハ径8"までのウェーハステージ、マスク径254mm X 355mmまでのマスクステージを採用しています。光学は顕微鏡のデジタルズーム機能および紫外線、バックライト、光学フィルターおよび専門にされた暗視野およびダークエッジの技術を含むさまざまなタイプの照明を含んでいます。検査装置は、高度なイメージングと比較技術を使用して、単一の画像または裸のシリコンウェーハまたはマスクされたシリコンウェーハの複数の画像の欠陥を特定して分類します。使用されるソフトウェアは、リアルタイム監視を含む完全に自動化された欠陥レビュープロセスを可能にし、欠陥ごとに最大8枚の画像を保存できます。このツールは高度なカスタマイズ機能を備えており、お客様のニーズに合わせてカスタマイズされたプログラムを設計することができます。このアセットは、ウェーハ構造とマスクフィルムを0。3〜0。4ミクロンのサイズまで分析することができます。検査できる典型的な欠陥には、チッピング、傷、異物、ゴム粒子、スパイキング欠陥、パーティクルクラスター、およびレジスト残留物などがあります。このモデルには、レジストパターンの間隔を検出して測定するためのBoson統合レーザーも含まれています。この装置には、コントラスト制御、オートフォーカス、明るさ制御、色の反転、色のキャリブレーション機能などの基本的な画像診断機能が装備されています。また、欠陥を分類する自動ヒストグラムジェネレータと、欠陥データをよりよく評価するための包括的な欠陥分類表を備えています。全体として、ESTEK AWISは洗練されたデジタルウェーハおよびマスク検査システムで、比類のない検査機能、精度、速度を提供します。その強力な機能と使いやすさは、欠陥を減らし、歩留まりを最大化する必要があるウェーハおよびマスクメーカーにとって不可欠なツールです。