中古 ESI / MICROVISION MVT 7080 #9187367 を販売中

ID: 9187367
Wafer inspection station, 6".
ESI/MICROVISION MVT 7080マスク&ウェーハ検査装置は、マスクおよびウェーハの信頼性と正確な検査を提供するように設計された高度なイメージングおよび分析システムです。高度な光学イメージング技術と高度な画像処理アルゴリズムを組み合わせて、マスクやウェーハ表面の潜在的な欠陥位置を特定します。ESI MVT 7080は、精密干渉計、色収差補正器、および高精度イメージング用の10x/0。4対物レンズで構成される光学測定ユニットを備えています。アベレーションコレクタは、大きな基板を使用していても、目的を完全に揃えることができない場合でも、正確なスキャンおよびイメージング機能を確実に維持します。統合された3軸ステージは、対物レンズとサンプルを動かす機能を提供し、さまざまなサイズのマスクやウェーハを検査することができます。MICROVISION MVT 7080のイメージングマシンは、高解像度CCDラインスキャンカメラを使用して画像をキャプチャし、保存します。CCDカメラは2048ピクセルx 656ライン解像度を持ち、最大128,000ピクセルのデータを格納することができます。イメージングツールによって取得されたデータの統合と分析は、埋め込み処理ユニットを介して行われます。このユニットは、欠陥検出、検査、判断、およびその他のパターン処理タスクのアルゴリズムを備えています。ライン幅、オープン/ショート、ミッシング、反射の4つのカテゴリに欠陥を分類することができます。MVT 7080はユーザーフレンドリーな制御アセットも備えており、操作のあらゆる側面に直感的なインターフェイスをユーザーに提供します。モデル機能、データ入力、表示調整、パラメータ設定、検査結果などが含まれます。統計分析とグラフ機能を含む幅広い追加機能により、ESI/MICROVISION MVT 7080の機能をさらに補完します。要するに、ESI MVT 7080は使いやすく、信頼性が高く、正確な検査装置であり、ユーザーに包括的なイメージングと分析機能を提供します。高度な光学、イメージング、および処理機能を組み合わせることで、マスクおよびウェーハ表面の潜在的な欠陥を一貫して正確に特定できます。
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