中古 ESI / MICROVISION MV 853 #9104086 を販売中

ESI/MICROVISION MV 853マスク&ウェーハ検査装置は、フォトマスクおよびウェーハを高精度に測定するためのアクセラレータ駆動型の包括的な検査および計測ツールです。ESI MVファミリの優れた性能と優れたパーティクルダイナミクスを組み合わせたこのシステムは、半導体業界の高度なマスクおよびウェーハ検査システムの要件に完全なソリューションを提供します。ESI MV 853は、これまでにないスピードと精度で、多種多様なマスクやウェーハ形状の検査と測定が可能な完全自動化ユニットです。LQV、 Overlay Measurement （OVM）、スペクトル反射、波長依存測定（WMD）、および信頼性の高い欠陥検出モジュール（DMD）などの精密な測定ツールを備えています。独自のハイスループットデータ収集技術により、最先端のアクセラレータとミラーを活用し、優れたスピードとスループットを実現します。最大60dBのダイナミックレンジを提供し、DIWNAE （Deep Isolated Wide Noise and Edge Effect）モードで最大5。1nmのフィーチャーサイズを測定します。さらに、拡張された信号機能により、ツールは欠陥と非欠陥をよりよく区別しながら、より高い測定精度と検出精度を提供します。MICROVISION MV 853のその他の機能には、オートフォーカス、パターンシューティング、視野ファインダー、中間焦点、ダイナミックフォーカス、および解像度レンジエクステンダーがあります。オートフォーカス機能は、ウェーハ/マスクの深さに基づいてユーザーを最適なフォーカス設定に自動的にガイドします。パターンシューティングフィーチャーは、マスク上の事前に定義されたパターンまたは関心のある長方形の領域の画像をキャプチャします。フィールドオブビューファインダー（FOVF）を使用すると、さまざまな方向や倍率で複数の画像を取得できます。中間フォーカス機能は、ウェーハ全体を素早くスキャンして最適なフォーカス設定を見つけます。ダイナミックフォーカスを使用して、関心のあるエリアやエリアに最適なフォーカス設定をすばやく見つけることができます。最後に、Resolution Range Extenderを使用すると、回折限界光学では不可能なマイナーな機能を測定できます。MV 853は、幅広いマスクまたはウェーハ形状に最適なスループットと精度で高精度な測定を提供するために設計された包括的なマスクおよびウェーハ検査アセットです。このモデルは、クラス最高のイメージング解像度、ダイナミックレンジ、強化された信号能力、および最も複雑なマスクおよびウェハ検査装置の要件を満たすための他のいくつかの精密測定ツールを提供します。