中古 ESI / MICROVISION 3900 #9256529 を販売中

ESI/MICROVISION 3900マスクおよびウェーハ検査装置は、マスクおよび半導体ウェーハのパターンを検証するための高性能、インテリジェント、コンパクト、および費用対効果の高いソリューションです。ESI 3900は、ウェーハおよびマスクパターンが仕様内で欠陥がないことを保証する包括的なパターン検査を提供します。このシステムは、自動画像取得、テンプレートマッチング、欠陥認識、レビュー、修復、分析機能を利用して、埋め込みプログラマブルロジックデバイス（PLD）、メモリシステム、フラッシュセルアレイなどの重要なデバイスを正確かつ迅速に検査します。MICROVISION 3900を使用すると、ウェーハ/マスクの開発と受け入れコストを削減し、パフォーマンスと信頼性を向上させることができます。3900は、高解像度の投影ユニットと自動化されたメジャー&マイナー欠陥検出器を備えています。わずか2分以内に400mmウェーハを検査でき、オプションの粒子清浄度とダイグループ化が可能です。その自動欠陥の修復と伝搬機能は、重要なデバイスの小さな欠陥を修正することができ、それによってレチクルとウェーハ処理の失敗を排除することができます。このマシンには、高精度で高度なアライメントオプティクスの新世代と、統合された充電結合デバイス（CCD）ラインスキャンカメラが組み込まれています。また、ノンフィル、ミスアライメント、プリントスルーなど、あらゆる種類の潜在的な表面およびマスク欠陥を検出できる光学画像パターン認識アルゴリズムと欠陥制御ソフトウェアも備えています。Microview ESI/MICROVISION 3900は、高周波（RF）プロセス、誘電体フィルム、ディープエッチングなど、複数のマイクロエレクトロニクス製造プロセスとも互換性があります。このツールの設計により、変形アーティファクトに対する極めて低い貢献が保証され、ウェーハのアライメントおよび変形制御タスクに一貫して高精度で使用できます。さらに、このアセットは強力でユーザーフレンドリーなソフトウェアを提供しており、配置測定精度の自動調整から欠陥の修復と伝播まで、さまざまなパラメータを簡単に設定および制御できます。直感的なユーザーインターフェイスは、データレビュー、ナビゲーション、比較、注釈などのプロセスに簡単にアクセスできます。要するに、ESI 3900マスクおよびウェーハ検査モデルは、マスクおよびウェーハ検査のための効率的なソリューションを提供します。自動化されたテンプレート、欠陥認識、修復、伝播などの高度な機能を、使いやすさと正確さと組み合わせています。