中古 ESI / MICROVISION 3900 #9255782 を販売中

ESI/MICROVISION 3900は、集積回路（IC）などのマイクロエレクトロニクス部品の製造に使用するためにESIによって設計されたマスク&ウエハ検査装置です。この高度なリソグラフィーシステムは、走査型電子顕微鏡（SEM）技術と自動パターン認識を組み合わせて、線幅（臨界寸法、CD）とパターン整合性の両方のためのフォトマスクおよびレジストパターンウエハの検査を可能にします。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、効率的な操作とデータ収集が容易になります。手動操作と自動化された操作の両方を実装し、ユーザーは特定のアプリケーションの検査モードとパラメータを設定できます。検査パラメータには、検査対象のウエハ領域（アクティブなデバイス領域やADAなど）と検査対象の回路要素（ラインセグメントやビアなど）の両方が含まれます。ESI 3900で高解像度の画像を得ることができ、正確な欠陥検出と測定が可能です。0。5 nA〜10 nAの電子ビーム電流と0。2 μ mの分解能を備えています。さらに、最大0。3 μ mの線幅のパターンを確実に識別することができます。これは、信頼性の高いツール制御のためのWindows XP Professionalオペレーティングマシンを搭載しています。このアセットは、基本的な検査および測定機能に加えて、より複雑なパターンに対してユーザー定義の検査ルールを定義する機能も提供します。入力データは、ICレイアウトまたはCAD図面から直接取得するか、既存の検査ライブラリとインタフェースすることができます。検査結果は業界標準の形式で報告され、必要に応じて測定データに統計分析を実施して、プロセス障害のパターンや傾向を検出することができます。MICROVISION 3900は、マイクロエレクトロニクス部品に迅速、徹底的、正確、信頼性の高いマスクおよびウェハ検査を提供するように設計されています。その堅牢な機能、高解像度、拡張機能セット、使いやすさは、製造された部品の品質管理と詳細な分析を必要とするさまざまな業界に適しています。