中古 ELICON EMA 3540 #106694 を販売中

ELICON EMA 3540は、半導体製造用の完全自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、生産中のICマスクおよびウェーハの欠陥を迅速かつ正確に検出するように設計されています。このユニットは、高度な光学システムと高解像度イメージング機能を使用して、幅広い欠陥を検出して表示することができます。EMA 3540は、基本的に光基板アナライザ（OSA）とソフトウェア評価機（SES）で構成されています。OSAは、検査のためにウェーハまたはマスクを加熱して平らにし、基板を保護板で覆い、低強度のレーザービームを基板に向けます。レーザービームは基板から反射されるため、OMAの高度な光学システムによって監視されます。OMAは、従来の方法では検出が困難な粒子、ピンホール、パーティクルクラスターなどのさまざまな欠陥を検出することができます。OMAが欠陥を識別すると、SESに処理され表示されます。この統合ソフトウェアは、ユーザーがデータを迅速かつ正確に解釈できるように設計されています。SESソフトウェアは、検査された基板の関心領域を迅速かつ正確に特定し、欠陥を分類し、ユーザーの検査レポートを作成する機能を備えています。さらに、ユーザーは必要に応じて、マスクまたはウェーハに必要な修正を行うことができます。ELICON EMA 3540はカスタマイズ性が高く、幅広い検査要件に対応できます。たとえば、OMAは複数の基板を同時に検査するために使用でき、SESは多数の基板の情報を分析して表示することができます。さらに、ユーザーは特定の検査要件に合わせてツールをカスタマイズすることができ、高い精度と信頼性で迅速かつ正確にウェーハを検査することができます。EMA 3540は、オペレーションを最適化し、完成品の品質を向上させたいメーカーにとって理想的なソリューションです。ELICON EMA 3540は、高度な光学システム、高解像度イメージング機能、カスタマイズ可能なオプションを備えており、迅速かつ正確なマスクおよびウェーハ検査機能を提供し、製造メーカーの欠陥を低減し、プロセス全体の効率を向上させるのに役立ちます。