中古 ECOPIA HMS-5000 #9248771 を販売中

ECOPIA HMS-5000は、高品質のデバイス製造のために、マスクとウェーハの両方を高精度に測定するために設計された次世代のマスク&ウェーハ検査装置です。このシステムは、広域双眼視野ユニット、レーザー/光学センサー、および最新のマルチセンサー検査技術を備えており、測定および検査タスクを最高レベルの精度で実行します。双眼ビジョンマシンは、サンプル基板の広い領域をカバーする視野を持つ2つの対物レンズで構成されています。レーザーセンサーは8軸スキャンヘッドから光を発し、反射光は構造ステーションに取り付けられた4つの光センサーによって検出されます。これにより、基板表面に発生する歪みや不規則性を検出することができます。レーザー/光学センサは、基板のあらゆる欠陥の形状とサイズを高精度に測定し、マルチセンサ検査技術により、基板の物理パラメータをより正確に分析することにより、検出ツールをさらに強化します。高度な光学測定資産は、不透明で不透明なマスクやウェーハなど、幅広いサンプルを測定することができます。表面の欠陥を検出できるだけでなく、線の幅と厚さ、パターンのエッジ位置、欠陥の面積と形状、およびバックグラインドウエハの表面均一性を測定することができます。これは、最高品質のデバイス製造プロセスを保証するのに役立ちます。また、自動検査モデルにより、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）に複数の基板の検査データを保存およびリコールできます。これは、大量のサンプルを分析する場合に特に便利です。さらに、パターンマッチングのためにさまざまな検査データを簡単に比較することができ、さまざまなアプリケーションのカスタムパラメータを設定することもできます。これらの機能により、HMS-5000は強力でありながら汎用性の高い検査装置となります。要するに、ECOPIA HMS-5000は、ユーザーが高品質のデバイス製造のための高精度の測定を提供する高度なマスク&ウェーハ検査システムです。マルチセンサー検査技術、広視野用双眼鏡ユニット、レーザー/光学センサーにより、さまざまな基板の表面欠陥を検出するのに理想的な機械です。さらに、直感的なGUIとカスタマイズ可能な機能により、自動検査のための強力で汎用性の高いツールとなります。