中古 DNS / DAINIPPON STM-603-PLS #293616221 を販売中

DNS （Diamond Navigation Equipment） DNS/DAINIPPON STM-603-PLSは、日本のマスク&ウエハ検査システムです。マスクやウェーハの欠陥を高精度・高分解能で検査することができます。ステレオデジタルカメラや半導体レーザースキャナを搭載したユニークなスキャン機など、多くの技術を活用しています。このツールは、半導体ウェーハおよびマスク基板材料のチェックに最適です。アセットには、素早く正確な測定が可能な精密基板ステージが含まれています。スキャンラインおよびオフ軸欠陥検査技術を活用し、欠陥の詳細かつ正確な評価を提供します。また、最新のレーザー技術を採用し、高解像度スキャンおよび欠陥解析を実現しています。このモデルには、オペレータの介入なしに欠陥を評価するための独自の自動欠陥分類装置が装備されています。このシステムは、360度のオフアクシスサブピクセル、マルチズーム倍率、3Dサーフェスプロファイルなど、マスクおよびウエハ基板部品の測定、分析、評価に適したさまざまな機能を備えています。また、オートフォーカスとマニュアルアプローチの両方を使用して、ウェーハの高速かつ正確なアライメントを提供します。オートフォーカスのアルゴリズムにより、各レイヤーに最適な画像フォーカスが保証され、広範囲の角度をカバーします。さらに、マスクや基板の欠陥を検出する「レーザーマーク」機能を搭載しています。DNS STM-603-PLS機にはユニークな「クイックスイッチ」機能も搭載されており、さまざまなタイプの表面スキャンと検査方法を素早く切り替えることができます。この機能により、アセットはさまざまなウェーハ領域を簡単に検査および分析することができます。このモデルは、これまで以上に高い精度、信頼性、速度、使いやすさを提供することにより、半導体ウェーハ、マスク、基板検査の究極の製品を提供するために開発されました。この装置は半導体業界において欠かせないツールとなっており、フィードバック時間の短縮とかつてないほど高いスループットで正確な検査を行うことができます。