中古 DNS / DAINIPPON STM-602 #293608962 を販売中

DNS/DAINIPPON STM-602 Mask&Wafer Inspection Equipmentは、フォトマスクやウェーハの欠陥を検出するためのフル機能を備えた機器です。先進的なデジタルイメージング技術を活用して、事前に製造されたマスクやリソグラフィックに露出したウェーハなどのパターン画像を検査します。このシステムは、高速、精度、再現性を提供するように設計されています。オートフォーカスやアライメントなど、複数の自動化された機能を備えているため、高スループット検査プロセスに適しています。DNS STM-602は、生産レベルと研究開発業務の両方に最適です。31。3cm X 31。3cm （12。3インチX 12。3インチ）の検査テーブルを備え、幅広い基板やプロセスに対応できます。また、12個の調整可能なスタティックフリーグランドピンを備えており、さまざまなマスクやウエハサイズや形状に最適な接触とアライメントが可能です。機械の光学ズーム範囲は0.6Xから10Xまで変化し、イメージングまたはフォーカスオプティクスでさまざまな領域の検査を容易にします。モーター式ターンテーブルが付属しているため、オペレータは倍率を調整して困難な領域を検査することができます。DAINIPPON STM-602 Mask&Wafer Inspection Toolは、明るいフィールドと暗いフィールドイメージングの両方を使用する高度な光学アセットを備えています。明るいフィールドイメージングは、最適な検出感度と検査の一貫性を提供しますが、暗いフィールドは小さな欠陥検出に最適です。また、表面検査にはレーザースキャン顕微鏡（LSM）技術を採用しています。この技術により、サンプル表面の正確かつ再現性の高い画像処理が可能になります。レーザーを使用してサンプル領域を照らし、標的材料に可動ビームプロファイルを作成し、サンプルのさまざまな物理的および化学的特性を明らかにします。この装置には、ウェーハの上面と下面の両方の欠陥を検査できる自動ウェーハプロファイリングツールが含まれています。ソフトウェアは、高精度のアライメントと欠陥検出のためのオーバーレイと焦点シフトの値を計算します。最後に、マスク&ウェーハ検査システムSTM-602サポートとメンテナンスサービスによってサポートされ、ユーザーはユニットのパフォーマンスと信頼性を最大限に高めることができます。これらのサービスには、技術的なアドバイス、予防的メンテナンス、校正および機械のアップグレード、および国際保証が含まれます。