中古 DIRECT OPTICAL ZX-1 Micro #127989 を販売中
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ID: 127989
Mini Zoom Interferometer
Includes:
Computer DORC
Radius of Curvature:
Reproducibility - One Sigma: 0.25%
Repeatability - One Sigma: 0.10%
Apex Offset:
Reproducibility - One Sigma: 2.0µm
Repeatability - One Sigma: 0.5µm
Fiber Height:
Reproducibility - One Sigma: 1.5 nm
Repeatability - One Sigma: 1.0 nm
Radius of Curvature: 3mm Flat
Apex Offset:
0-500µm (value calculated if outside of captured frame)
Fiber Height: ± 6µm (with extended range option)
MICHELSON Interferometer (non-contact system)
Measurement Speed: Less than 1 second
Magnification:
X85 to X550 Using 12" monitor
X60 to X400 Using a 15" XGA monitor and the digital zoom turned off
Operating Wavelengths: 665 nm
Power Requirements: 100 to 120V AC, 50 / 60Hz.
DIRECT OPTICAL ZX-1 Microは、高精度の3D表面精度と迅速な画像解析を提供するように設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、デジタル光学プラットフォームを使用して、顕微鏡の欠陥と画像処理アルゴリズムを検出して分離および分析します。その中心にあるZX-1 Microは、高速加速イメージングユニットによって駆動されます。この技術は、従来の光学系よりも高速で画像をキャプチャし、投影するために、高度な高周波パラボリック光学レンズを利用しています。その結果、被写界深度を高めた高解像度画像を生成し、マスクやウェーハの構造や表面を総合的に把握することができます。DIRECT OPTICAL ZX-1 Microは、マスクやウェーハ表面の欠陥を正確に検出および分離するために設計された強力な画像処理アルゴリズムの利点もあります。粒子解析やプロセス制御法など、様々なアルゴリズムが混在しており、完全なウエハやマスク試料上の小さな欠陥を区別することができます。さらに、このツールはリアルタイム多重化もサポートしており、複数の構造を同時に迅速に処理することができます。ZX-1 Microは実用的で人間工学に基づいたデザインも備えています。ユーザーフレンドリーなコントロール、柔軟な実装機能、およびモジュラーコンポーネントにより、資産はシンプルで使いやすいです。さらに、ソフトウェアパッケージは柔軟に最適化され、お客様のニーズに合わせてカスタマイズされ、ユーザーはアプリケーションやプロセスに合わせてモデルをカスタマイズすることができます。DIRECT OPTICAL ZX-1 Microは、精度、効率、柔軟性を提供する洗練された検査装置です。マスクやウェーハの微細な欠陥を検出するための正確で信頼性の高い費用対効果の高い方法を提供します。R&Dセンターから生産ラインまで、さまざまな問題を解決し、マスクやウェーハの状態に関する貴重な洞察を提供します。
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