中古 DEXON CLL 6436 #108363 を販売中

DEXON CLL 6436は、半導体業界向けに設計されたマスク&ウエハ検査装置です。高解像度のイメージングと柔軟なワークフロー機能を提供し、さまざまなウエハおよびマスク基板の欠陥を迅速かつ正確に検出します。このシステムには、堅牢な64チャネルのリニアレーザー（CLL）照明ソースが装備されており、レーザー出力強度の動的変調とイメージングとレーザー検査モード間の高速スイッチングを提供します。これにより、最高品質のイメージングおよびレーザーによる欠陥検出に最適なサンプル照明が保証され、最も困難なプロセス制御要件を満たします。CLL 6436には、高感度、固定焦点科学グレードの充電結合装置（CCD）イメージングユニットも装備されています。これは2/3インチのカラープログレッシブCCDアレイを備えており、最大1umピクセルサイズの高解像度イメージングを提供します。カメラは、画像品質の情報の両方をキャプチャし、迅速なウエハ分析タスクに必要なデータを迅速に取得することができます。このマシンは、すべての表面トポロジを完全に検査できるように設計されており、欠陥、ボイド、粒子などの欠陥を迅速に特定し、真空フィルタをさらに簡素化します。その5軸電動XYステージツールは、効果的なシャッタータイムとマスクアライメントのためのマスクの迅速かつ正確なスキャンを可能にします。その堅牢なソフトウェアは、さまざまなレシピ構築機能とデータエクスポート機能を可能にします。カラーピクセルのしきい値とイメージフィルタリングを含む独自のDEXON Analytical Toolkitは、画像に関心のある機能を保持しながら、不要な詳細、背景、ノイズをすべて除去するための自動画像解析を提供します。全体として、DEXON CLL 6436は、最も困難な検査タスクのために設計された革新的なマスク&ウェーハ検査資産です。その高解像度イメージング機能とインテリジェントソフトウェアは、さまざまなマスクおよびウェーハ基板上の欠陥の検出と解釈に理想的なモデルです。