中古 CYBEROPTICS LSM 300 #9008344 を販売中

CYBEROPTICS LSM 300は、半導体メーカーが製品の欠陥を迅速に検出するために設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、マスク、ウェーハ、リードフレームなどの基板上の特徴を迅速かつ効率的に識別および分析するための完全なソリューションを提供します。レーザー干渉計と光学計測を用いた包括的な自動検査が可能です。LSM 300は、検査プロセスを通じて正しい情報を収集するために、独自の画像処理アルゴリズムを使用しています。このアルゴリズムは、マスク内の繰り返し構造を定期的に認識し、基板によって導入された不正確さを補償します。このアルゴリズムは、他の方法では検出できないロープロファイル機能も効果的に識別します。CYBEROPTICS LSM 300は、各マスクとウェーハの包括的な検査を提供します。この機械は、直径450mmまでの広範囲の基板に対応できます。また、紫外線や可視光源を使用して、基板の上面と下面の両方を検査します。また、石英、シリコン、金属など幅広い基板に対応しています。LSM 300はまた、高解像度のイメージングと正確な測定を提供する信頼性の高い効率的なカメラツールを備えています。このアセットは、最大600フレーム/秒の速度で画像をキャプチャして記録することができます。カメラモデルには5種類のフィルターが搭載されており、様々な色や光の大きさをキャプチャすることができます。これにより、低光特性の正確なイメージングが可能になります。特に、最も要求の厳しいメーカー要件を満たすように構築されたCYBEROPTICS LSM 300は、そうでなければ見過ごされるであろう複雑な欠陥を分析することができます。表面欠陥や地下欠陥、ベベル、ピット、突起の特徴を検出して区別することができます。さらに、この装置にはオートフォーカス機能も装備されており、オペレータは基板上の任意の位置に集中することができます。要するに、LSM 300は、基板上の欠陥を検出および分析するために設計された高度なマスクおよびウェーハ検査システムです。このユニットは、高解像度のイメージングと正確な測定を可能にする堅牢なカメラマシンを誇っています。また、ユニークな画像処理アルゴリズムを使用して、マスク内の定期的な繰り返し構造を識別し、不正確さを補償します。CYBEROPTICS LSM 300を活用することで、製造メーカーは欠陥を迅速に検出し、高品質な製品を保証することができます。