中古 CORNING / TROPEL Flatmaster #9254077 を販売中
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ID: 9254077
ヴィンテージ: 2007
Wafer measurement system, 6"
(5) Test trucks
Pump
Computer
Manual
Oil free vacuum pump
Part size: 25 mm - 200 mm
Dynamic range: >100 µm
Accuracy: 50 nm
Repeatability: 15 nm, 1σ
Resolution: 5 nm
Measurement time: 5 s (Typical)
Measured data points: Up to 230,000
Measurement datum: Least squares, Minimum zone
Filtering: ISO standard
Materials: Metals, Glass, Polymers, Ceramics
Materials / Surfaces:
Reflectivity: 10% at 85° (Minimum)
Maximum roughness: 1µm, Ra (Typical at 4µm / fringe)
Temperature: 15°C-30°C
Rate of temperature change: 0.5°C-2°C
Humidity: 35-75% (Non-electrostatic / Non-condensing)
Power supply: 100-240 VAC, 50/60 Hz, 4 A
2007 vintage.
CORNING/TROPELフラットマスターは、フォトリソグラフィの検査プロセスに革命をもたらす革新的なマスクおよびウェーハ検査装置です。この最先端のシステムにより、ユーザーは非常に高い均一性でマスクやウェーハを正確に検査し、最終的にフォトリソグラフィープロセスをより迅速かつ効率的に完了させることができます。TROPEL Flatmasterは、パターンイメージとベアイメージの両方を組み合わせた独自のデュアルイメージコンビネーション技術を使用して、マスクとウェハイメージの最高レベルのパフォーマンスを実現します。このデュアルイメージの組み合わせは、画像の精度が大幅に向上するため、ユーザーに前例のないレベルの明瞭さを提供します。CORNING Flatmasterはまた、高度な照明技術を使用して、マスクやウェーハイメージに対する表面の欠陥の影響を最小限に抑えます。Flatmasterはユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスで制御され、ユーザーはすばやく検査プロセスをセットアップして開始できます。ユーザーは、感度レベル、露光時間、および画像パラメータを調整するためにユニットと対話することができます。さらに、マルチレイヤー構成設定により、ユーザーはマシンを変更して複数のタイプのパターンとサーフェスを検査することができます。CORNING/TROPEL Flatmasterは、効率を最大化し、人間の介入を最小限に抑えるためにフルオートメーション用に設計されています。これは、欠陥を特定し、ユーザー定義の基準に基づいてレポートを生成することができる強力な画像処理ツールを備えています。これにより、すべての検査がタイムリーかつ費用対効果の高い方法で実施されることが保証されます。さらに、TROPEL Flatmasterは、さまざまな既存の検査システムと互換性があり、破壊的な変更や不要な投資の必要性を排除します。CORNING Flatmasterはフォトリソグラフィの方法に革命をもたらしました。このアセットは、優れた結果を提供するために、スピード、精度、スケーラビリティを念頭に置いて設計されています。Flatmasterは、マスクとウェーハの検査を合理化するために探している組織にとって必須です。
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