中古 CORNING / TROPEL Flatmaster #9227960 を販売中

CORNING/TROPEL Flatmasterは、半導体製造プロセスにおいて、マスクやウェーハの高速非接触光学検査を提供するマスク&ウェーハ検査装置です。このシステムの先進的な光学技術とイメージング技術により、1ミクロンのフィーチャーサイズでもウェーハ機能検出が可能になり、高精度、信頼性、再現性の高い結果が得られます。このユニットは高速スキャン機能を備えており、迅速な欠陥検出を可能にします。TROPELフラットマスターは、迅速かつ正確な検査のための高度な機能と技術の配列を組み合わせています。機械の中心には、マイクロレンズ、動的パターン認識（DPR）、および統合チップID技術を備えた4チャネルの検査ヘッドがあります。この4チャンネルアプローチにより、チップあたり50〜150個の欠陥をマルチレベルで検査し、同時に測定することができます。このツールはまた、精度を最大化するためにコンピュータ制御のズームとオートフォーカス機能を備えています。最先端のディップインオプティカルヘッドにより、従来の機械技術でもアクセスが困難なウェーハ上の困難な領域を検査することができます。また、自動気候制御のための統合された環境チャンバーを備えています。安定した環境では、画像内のノイズ信号を最小限に抑え、必要に応じてレーザーおよび機械的校正で一貫した結果を得ることができます。また、オープンアーキテクチャで設計されており、複数のベンダーからの自動ウェーハハンドリングシステムを統合することができます。CORNING Flatmasterは、迅速なターンアラウンド要件を満たしながら、高解像度で反復可能な結果を提供するように設計されています。100-1700mmウェーハをスキャンし、マスクに25mmまで貫通して欠陥を検出することができます。単位は使いやすく、出力は自動化された欠陥の分類器、CAD統合されたスキャナ、またはそれ以上の分析のための入力として使用することができます。フラットマスターは、半導体製造業界にとって信頼性の高い正確なマスク&ウェハ検査機です。