中古 CORNING / TROPEL Flatmaster 100 #9390111 を販売中
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CORNING/TROPELフラットマスター100は、高度な光学系と低消費電力で優れた画像解像度を組み込んだマスク&ウェハ検査装置です。このシステムは、16 「x 16」ステージ、2つのレーザー、複数の検出器、人間工学に基づいたハンドル付きの関節アーム、および高透明ガラスマスクとウェーハ検査プレートで構成されています。このユニットは、マスクやウェーハイメージの特徴を検出するために、さまざまな光学および非光学コンポーネントを使用しています。TROPEL Flatmaster 100は、マスクやウェーハのさまざまな機能を検出するために、2レーザーマシンを使用しています。1つのレーザーは、大規模な特徴(コーティング、誘電層、はんだマスクなど)を検出するために責任がありますが、2つ目のレーザーは微細なライン特性(アライメント、パターン検証など)を検出するためのものです。各レーザービームは、マスクまたはウェーハ上に光グリッドを作成するために線形パターンで移動する2つのビームに集中して分割されます。これにより、ツールは横面と軸面の両方のフィーチャーを検出できます。CORNING Flatmaster 100は、マスクまたはウェーハを検出器の視野内に配置するために関節アームを採用しています。アームは操作が簡単な人間工学に基づいたハンドルを備えており、z軸だけでなく2次元でも移動できます。これにより、検査プロセスでマスクとウエハイメージがはっきりと見えるようになります。マスクとウェーハ検査板は、最大25kgの重量を保持できる高透明ガラスを採用しています。これには、資産によって検査する必要のあるマスクまたはウェーハが含まれます。このプレートは、大型および微細ラインの両方の機能を収容して検査するのに理想的な大きな17¾ 「x 17¾」表面積を持っています。さらに、Flatmaster 100には直感的でユーザーフレンドリーなインターフェースがあり、オペレータはすぐにモデルをセットアップして操作することができます。また、8ビット1024 x 1024ピクセルダイナミックレンジ、最大9kHzのスキャンレート、および調整可能なスキャン速度を備えています。これにより、マスクやウェーハ上のさまざまな機能を高精度な結果で検出および分析することができます。全体として、CORNING/TROPEL Flatmaster 100は、高度な光学系と優れた画像解像度を利用して、さまざまなマスクやウェーハの機能を検出および分析する多目的で信頼性の高いマスク&ウェーハ検査ユニットです。機械は作動しやすく、短時間で正確な結果を提供できます。そのため、エレクトロニクス製造分野における幅広い高精度機能の検査に最適です。
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