中古 CORNING FlatMaster 200 #9148493 を販売中

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ID: 9148493
ヴィンテージ: 2011
Wafer measurement system Process: Lapping Measurement method: Grazing-incidence interferometer Accuracy: 0.05 μm (2.0 μ”) Repeatability: 0.015 μm Resolution: 0.01 μm (0.4 μ”) Dynamic range: 30 μm typical Measured data points: Up to 250,000 Measured time: 5 seconds Standard measurements: Flatness,line profile,spherical radius (2~6”) 2011 vintage.
CORNING FlatMaster 200は、接触および非接触検査アプリケーションに優れた性能を提供する自動マスクおよびウェハ検査装置です。デジタルカメラ、両面ステージ、光学レンズのセット、洗練されたソフトウェアを主成分とする高度な光学イメージングシステムです。このカメラはFlatMaster 200の中心であり、15ビットの色深度で最大2100×1700ピクセルの解像度を提供できます。ステージは、マスクまたはウェーハを微細なステップで検査下に配置できる両面高密度圧縮装置です。これにより、再現可能な結果を得るためのアライメントの精度が得られます。高精度の光学系は、非常に低い歪みまたは収差を提供し、自動ステージ移動中であっても、画像分野全体にわたって一定の画質を提供します。CORNING FlatMaster 200ソフトウェアは、3つのメインモジュールで構成されています。1つ目は、マスクを素早くスキャンし、欠落、余分なパターン、またはシフトしたパターンなどの欠陥を検出するマスク検査ユニットです。また、ミラーイメージ、冗長ピクセル、ユーザー定義の最小幅よりも小さいトレースとスペースも識別します。2つ目のモジュールは、ウエハ表面のボイドやその他の不規則性を検出するウエハ検査機です。最後に、3つ目のモジュールはキャリブレーションと検査の最適化ツールで、ユーザーはアセットのパフォーマンスを微調整したり、ユーザー定義のマスクテンプレートを作成したりできます。FlatMaster 200は、欠陥を迅速に特定し、優れた結果を一貫して提供するように設計されています。これは、微細なマーキングを検出するための自動ビジョンアルゴリズムを提供し、そのサイズと形状に基づいて欠陥を分類することができます。このモデルは高速動作(最大8倍)も可能で、データ保持用に最大1GBの内部ストレージモジュールを備えています。結論として、CORNING FlatMaster 200は、マスクやウエハーの検査に理想的なツールです。微細な欠陥を正確に素早く認識し、検査を通して一定の画質を提供する、光学的に高度なイメージング装置です。内蔵のソフトウェアにより、システムのパフォーマンスを容易に校正および最適化できますが、高速動作と効率的な内部ストレージ容量により、生産ライン環境に最適です。
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