中古 COMPUMETRICS AMS 100 #38026 を販売中
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ID: 38026
Critical dimension mask inspection system
Leitz Ergolux microscope
Camera and camera control
De-installed.
COMPUMETRICS AMS 100は半導体産業のために設計されたウェーハおよびマスクの点検装置です。この自動化されたシステムは、これらのコンポーネントの高精度な検出と検査を提供し、ユーザーに高精度で欠陥や欠陥を検出する能力を提供します。このユニットは、高度な光学イメージング技術を使用して、マスクとウェーハの両方の内部構造と詳細を正確に示し、監視します。光は表面から反射され、高分解能の測定を提供する構造を評価します。この光はコンピュータに転送され、そこでデータが分析され、さらに処理されます。このマシンは高速かつ効率的であり、1時間あたり最大750のウェーハとマスクの速度で結果を提供することができます。結果として得られた分析は、統計的なグラフィカル表現でuserscreen上に表示されます。このデータは、業界標準およびユーザー定義仕様と容易に比較できます。他の同様のソリューションと比較すると、AMS 100検査ツールは優れた精度を提供しながら時間を節約することができます。アセットは柔軟性もあり、ユーザーは特定のアプリケーションに合わせて簡単に設定を調整したり、さまざまなシナリオでさまざまなパフォーマンスを評価することができます。ウェーハやマスクの検査に加えて、電気パラメータ、エッチング抵抗、光学特性、化学反応速度などの追加の材料特性を測定することも可能です。また、耐久性に優れ、高温や放射線被ばくなどの複数の環境条件下でも効率的に動作することができます。全体として、COMPUMETRICS AMS 100は強力で効率的なツールで、マスクとウェーハ検査の両方で非常に正確なデータを提供します。このシステムは、検査と測定能力を向上させるために探している任意の半導体や産業ユーザーのための理想的なソリューションです。
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