中古 CMS UTR 65 #9250624 を販売中

CMS UTR 65は、高解像度のin-situイメージングとマスクおよびウェーハ基板の検査を提供するように設計されたロボットマスクおよびウェーハ検査装置です。これは、独自の走査型電子顕微鏡（SEM）プラットフォームを利用して実現されています。9軸の位置決め機構を搭載し、フォーカスや傾きを正確に微調整するとともに、幅広いマスクやウェーハをスキャンすることができます。また、高解像度カメラを搭載しているため、様々な照明条件下での分析・検査が可能であり、サンプルの途切れることなく観察することができます。UTR 65は、高性能で自動化されたビームスキャニングマシンを内蔵しており、マスク基板上の特徴の正確な位置決めを提供します。自動ビームスキャンや測定機能を活用することで、マスクの特徴を素早く解析・検査し、正確性を確保することができます。統合されたカメラでは、ユーザーは簡単にマスクが次のプロセスに移動する前にエラーを識別する可能性と実際の機能と期待される機能を比較することができます。検査結果の精度と信頼性を最大限に高めるために、CMS UTR 65はレーザー支援オートフォーカス機能を内蔵しています。この技術的に高度な機能により、自動フォーカスが可能になり、各マスクをスキャンする際に最適なフォーカスを素早く達成できます。レーザー支援フォーカスは、測定される実際の機能が正確に集中し、最も信頼性が高く再現性の高い結果を示すことも保証します。UTR 65は容易な操作および使用のために設計されています。アセットは、カスタマイズ可能なディスプレイを備えた直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供するだけでなく、自動処理用のジョブキューも内蔵しています。この最適化されたワークフローにより、ユーザーは1つのジョブキューから複数のタイプのマスクをすばやく分析および検査できます。ジョブキューを介して、モデルは簡単にリコールするために、製造、配置、および部品番号を含むすべてのマスク情報を格納することができます。要するに、CMS UTR 65は、高解像度のイメージングと信頼性の高い検査結果を提供することができる自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスと自動化されたジョブ処理を提供しながら、マスクとウェーハワークフローを合理化するように設計されています。統合されたレーザー支援フォーカスにより、UTR 65は毎回最適なフォーカスと精度を確保し、正確で再現性の高い検査結果を得ることができます。