中古 CARLO ERBA 1500 #86211 を販売中

CARLO ERBA 1500は、マスクやウェーハの欠陥を検出するために特別に設計された高度な検査装置です。このシステムは、高度な画像処理、自動入力、手動検証プロセスを組み合わせて、検出されたすべての欠陥が正確に識別および報告されるようにします。1500年に採用されたイメージング技術により、マスクやウェーハ表面の微細な欠陥を検出することができます。サブミクロン分解能を備えた特殊な光学顕微鏡を使用して、金型表面の画像マークの欠陥を拡大し、容易な識別と測定を可能にします。高解像度の充電結合デバイス（CCD）カメラを使用して、画像をキャプチャし、測定値を記録します。ユニットには、このプロセスを支援する自動フォルト検出アルゴリズムも付属しています。これらのアルゴリズムは、検査プログラムで指定された欠陥のサイズと形状を正確に決定するようにプログラムされています。ソフトウェアはまた、欠陥が可変プロセス関連の欠陥またはマスク/ウェーハの問題の結果であるかどうかを判断することができます。さらに、CARLO ERBA 1500は手動入力プロセスを提供し、検出された欠陥を手動で確認できます。この機能を使用すると、検出された欠陥のサイズ、形状、位置および性質を確認し、修正を行うか、追加情報を提供することができます。最後に、1500には強力なレポート機能も含まれており、検出された欠陥測定とそれぞれの性質を含む包括的なレポートを生成できます。この機能は、メーカーがマスク/ウェーハの受け入れ/拒否基準について情報に基づいて決定するのを助けることを目的としています。全体的に、CARLO ERBA 1500は、マスクとウェーハの詳細な検査のために特別に設計された高度な検査機です。このツールは、高度な光学顕微鏡、自動画像入力、自動欠陥検出アルゴリズム、および手動入力を組み合わせて、検出されたすべての欠陥が正確に識別および報告されるようにします。優れたイメージング、フォルト検出、レポート機能を提供することにより、1500は現在利用可能なトップマスクおよびウェーハ検査システムの1つと考えられています。