中古 CARL ZEISS MeRit HR32 Plus #9254285 を販売中

CARL ZEISS MeRit HR32 Plusは、クリスタルクリアな欠陥特性評価に革新的な技術を使用したマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、欠陥を検出するために、マスクやウェーハ上の小さな、しかし重要な機能を追跡することによって動作します。MeRit HR32 Plusは、構造化された光の異なるパターンを投影する複数の個々の光源を利用します。このユニットはコンパクトに設計されており、スペースを最小限に抑えながらも、パワフルで信頼性の高いパフォーマンスを提供します。各光源は、マスク/ウェーハに光が当たるときに、2つの垂直な線形カーブを作成します。光が通過した後でも見える欠陥は、リアルタイムで分析する光源画像によって照らされます。検査プロセスは、結果の正確性を確保するために、Autofocus Depth Controlと3D計測機を使用しています。これらの機能は、ユーザーが自動的にフォーカスを制御し、マスク/ウェーハの3Dサーフェスプロファイルを測定できるようにするために組み合わされます。これにより、イメージング光学系を手動で調整する必要がなくなります。このツールで提供されるソフトウェアは使いやすく、検査プロセスの合理化に役立ついくつかの機能が含まれています。統合レポートジェネレータ、包括的な欠陥データベース、および直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が含まれます。これらの機能を使用すると、検査中に収集されたすべてのデータにすばやく欠陥を診断し、アクセスできます。CARL ZEISS MeRit HR32 Plusは、フォトリソグラフィ分野の計測アプリケーションに最適です。高解像度検査、3D欠陥イメージング、高精度マスクアライメントおよび測定に最適です。肉眼では見えない不均一性や欠陥を素早く検出することができます。MeRit HR32 Plusは、その印象的な精度と信頼性の高いパフォーマンスにより、あらゆる計測アプリケーションに理想的なコンパニオンです。